太阳能多晶硅片的检测-solarbe文库

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天威新能源成都硅片有限公司文件编号 TNG.J JY.015-2009 版次 A 硅片检验规程生效日期 2009 年 02 月 10 日第 1 页共 5 页1 目的为加强成品质量控制，规范成品检验方法及步骤，特制定此规程。2 范围本文件规定了对成品进行检验的标准等。本文件适用于硅片公司品管部硅片分选包装检验员。3 设备、工模具、材料Manz硅片分选设备、 PVC手套、标签打印机、工作台、包装盒、包装箱、封口胶带等。4 内容4.1 检验方式4.1.1 外观全检，即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测，从而判断每一件产品是否合格。4.1.2 电学及其他性能抽检，每个硅块抽取 200 片用 Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、、厚度、 TTV、少子寿命等进行检验。在有特殊要求时，按一定比例对硅片的氧碳含量进行抽检。4.2 检验步骤a 每个硅块抽取 200 片用 Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少子寿命等进行检验；b 在抽检的 200 片当中如果有 30 及 30 片以上的硅片（导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足 4.3 中相关要求，则对该硅块所有的硅片用 Manz硅片分选设备进行检验，之后再对所有硅片进行外观上的检验；c 在抽检的 200 片当中如果只有 30 片以下的硅片（导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足 4.3 中相关要求，则将这些硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等，该硅块其他硅片不再进行导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等的检验，连同抽检的 200 片硅片中剩下的硅片进行外观上的全检；例如如某一硅块理论切片数为 535 片，抽检了 200 片，当中有 29 片不满足 4.3 中相关要求。则将 29 片判定为导电类型不符、电阻率不符等，剩下的 171（ 200-29 ）片连同前面的 335 片（ 535-200 ）进行外观上的全检；编制校对审核标准化批准发送部门份数天威新能源成都硅片有限公司文件编号 TNG.J JY.015-2009 版次 A 硅片检验规程生效日期 2009 年 02 月 10 日第 2 页共 5 页d 依据 4.3 中相关要求对硅片进行分类。4.3 技术要求按质量要求将硅片分为 A级硅片、 B级硅片、 C级硅片、 D级硅片四级，如下表 1。其中将 A级硅片按电阻率分为 A1（ 0.5 ～3Ω .cm）， A2（ 3～ 6Ω .cm） 2个类别， B级硅片按部分性能不满足 A级硅片要求分为 B1， B2， B3， B4， B5，， B9共 9种类别； C级硅片指由清洗、检测和包装过程中产生的碎片，经判定能将其划成一定尺寸的小规格硅片（如 125mm 125mm），其他检验参数符合 A级硅片标准。具体要求见下表。硅片公司按 A级硅片生产，允许按用户要求提供 B级硅片或是 C级硅片。表 1 太阳能多晶硅片质量等级分类方法序号检验项目A B C D 检测方法检验方式A1 A2 B1、 B2、 B3, B9 1 导电类型 P P 可划片（不合格产品），但在划为小规格尺寸（ 125125）硅片后，其他性能符合 A级硅片标准不合格产品，即不满足A、B、 C级要求的硅片均归为 D级硅片分选设备抽检2 隐裂、针孔无隐裂、无针孔无隐裂、无针孔硅片分选设备抽检3 崩边长度≤ 1 mm，深度≤ 0.5 mm，每片崩边总数≤ 2 处；长度≤ 1 mm，深度≤ 0.5 mm，每片崩边总数≤ 2 处；B1 1mm＜崩边长度≤5mm， 1mm＜深度≤ 2mm， 1＜崩边总数≤ 3 目测全检4 TTV ≤ 30 μ m ≤ 30 μ m B2 30 μ m＜ TTV≤ 50μm；硅片分选设备抽检5 厚度 200± 20 μ m 200± 20 μ m B3 厚度偏差超过± 20μ m但小于± 40μ m 硅片分选设备抽检6 尺寸 156± 0.5 mm 156± 0.5 mm B4 硅片尺寸偏差超过± 0.5mm但小于± 1.0mm 硅片分选设备抽检7 倒角 1± 0.5 mm、 45°±10o1± 0.5 mm、 45°± 10o B5 倒角尺寸偏差超过± 0.5mm但小于± 0.8mm 硅片分选设备抽检8 线痕深度≤ 8 μ m 深度≤ 15 μ m B6 15 μ m＜深度≤ 30μ m 目测、必要时使用表面粗糙度仪帮助判定全检9 电阻率0.5-3 Ω cm； 3-6Ω cm 0.5-3 Ω cm； 3-6 Ω cm B7 电阻率＜ 0.5 Ω .cm 硅片分选设备抽检10 少子寿命 ≥ 2μ s ≥ 2μ s B8 0.5 μ s≤少子寿命＜ 2μ s 少子寿命测试仪按硅块检验规程进行抽检天威新能源成都硅片有限公司文件编号 TNG.J JY.015-2009 版次 A 硅片检验规程生效日期 2009 年 02 月 10 日第 3 页共 5 页续表 1 说明 1 A 级硅片为优等品， A、 B 级硅片均为合格硅片 ,C、 D级硅片为不合格硅片；2 B 级硅片按公司制定的相关让步使用规定进行使用， C级、 D级硅片按公司不合格品控制程序进行处理；3）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，其检验的光照条件依据 GB50034-92 工业企业照明设计标准中第 3.2.1 条一般精细作业中的要求，即识别对象最小尺寸 0.6d1.0, 视觉作业分类等级为 IV 乙，亮度对比为大，照度大小为 200LUX（即需 40W的日光灯源，工作面距离灯源 50-70cm）。4）凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款，检验时可以标片的方式辅助加以判定是否合乎要求。4.4 标志、包装4.4.1 标志在包装盒至少印有如下产品标志a 企业名称；b 产品型号或标记；c 制造日期；d 质量认证书；序号检验项目A B C D 检测方法检验方式A1 A2 11 表面质量状况硅片表面及侧面无凹坑，无沾污，无氧化，无穿孔，无裂纹，无划伤；硅片表面及侧面无凹坑，无明显沾污（表面沾污总面积小于3mm2，每一百片单边侧面沾污总面积小于 20mm2）（判断时参照沾污样本片进行判定），无氧化，无穿孔，无裂纹，无划伤；B9 硅片表面有沾污但硅片颜色不发黑；油点或其他赃物不得有 3 处，每处沾污或其他赃物面积≤ 1mm2可划片（不合格产品），但在划为小规格尺寸（ 125125）硅片后，其他性能符合 A级硅片标准不合格产品，即不满足A、 B、C级要求的硅片均归为D级目测全检12 弯曲度≤ 80 μ m ≤ 80 μ m ≤ 80 μ m 塞尺抽检13 氧碳含量氧含量≤8x1017atoms/cm 3 ；碳含量≤ 6.0x10 17atoms/cm 3氧含量≤ 8x1017 atoms/cm 3 ；碳含量≤ 6.0x10 17 atoms/cm3氧含量≤ 8x1017atoms/cm 3 ；碳含量≤ 6.0x10 17atoms/cm 3氧碳含量测试仪客户要求时才抽检天威新能源成都硅片有限公司文件编号 TNG.J JY.015-2009 版次 A 硅片检验规程生效日期 2009 年 02 月 10 日第 4 页共 5 页e 硅锭编号；f 氧、碳含量；g 少子寿命；h 电阻率。4.4.2 内包装硅片采用 EPS包装盒密封包装。包装盒上的标签要求粘贴整齐美观、向上并朝同一方向。封口时，封口胶要求美观平整。4.4.3 外包装外包装箱应标有“小心轻放”及“防腐、防潮”字样，箱内有产品清单。外包装箱上贴有标签，标签内容包括产品名称、型号、数量、日期以及包装编号等。外包装箱上的标签要求粘贴整齐美观、向上并朝同一方向。封口时，封口胶成十字形，并要求美观平整。5 记录硅片生产流程卡天威新能源成都硅片有限公司文件编号 TNG.J JY.015-2009 版次 A 硅片检验规程生效日期 2009 年 02 月 10 日第 5 页共 5 页6 更改记录版次条款更改内容说明更改日期更改人