能源硅片切割原理-solarbe文库

资源描述：

利用切割钢丝带动砂浆，利用砂浆中 SiC 微粒与晶棒进行摩擦，达到切割的目的。并不是钢丝切割晶棒，钢丝的摩尔硬度为 5.5 左右，单晶硅的摩尔硬度为 6.5 左右，而 SiC 的摩尔硬度为 9.25-9.5 左右，因此钢丝是切割不了晶棒的，这也是解释当砂浆流量异常及砂浆中 SiC含量过低时容易断线的原因。切割的过程就是将晶棒固定于进给台，进给台按一定的下压速度将晶棒与高速运动的线网接触，利用线网带动砂浆中的 SiC 切割晶棒，根据不同主辊槽距和钢丝线径将晶棒切割成 0.2mm左右厚的硅片。切割原理示意图切割材料及作用钢丝砂浆的载体浆料（砂液）冷却、悬浮砂（碳化硅，菱形）切割作用液（乙二醇）悬浮作用