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资源描述:
①砂浆更换量计算公式 砂浆更换量 (晶棒总长度 / 导轮槽距)单片面积每平方米更换量 单片面积 六寸单晶硅片面积 0.01486 m 0.01486八寸多晶硅片面积 0.02433 m 0.02433每平方米更换量 3.5-4 L 4导轮槽距 0.36mm 0.36月硅片产量 每公斤长度 每公斤方棒需要更换量(升) 月总方棒数量(千克)30000000 17.643 4.769491 612140.7924② 理论片数计算公式 理论片数 晶棒长度 / 导轮槽距③ 硅片厚度计算公式硅片厚度 导轮槽距 - 钢线直径 -3 砂子的粒径 - 修正值 导轮槽距 360 um 360钢线直径 140 um 140砂子粒径 1200 砂子的粒径( D50)值为 9.5um 9.51500 砂子的粒径( D50)值为 8.5um 8.5修正值大约为 5 um 5带入数据可以得到硅片厚度为 186.5 um④ 硅片的出片率计算公式 硅片出片率 (晶棒的理论片数 / 晶棒的理论重量)合格率 晶棒长度以 200mm为例,理论片数为 555片,理论重量为 11.336kg,合格率为 95,则出片率为注 1kg 八寸多晶的长度为 17.643mm此数值都为三硅片的工艺数值。 导轮槽距 0.36 mm钢线直径 0.14 mm砂浆密度 1.60-1.63 kg /L砂浆配比 砂子 易成 60 再生粉 40悬浮液 伟业 50 再生油 50砂浆更换量 195L完全更换砂浆量 360L线速 范围 11-15 m/ s,目前为 13.5 m/s台速 范围 0-1 mm/ min,目前为 0.45 mm/ min左右张力范围 19-30N,目前右张力 26N,左张力为 25N设备每 32刀清洗一次,以前为 16刀清洗一次砂浆每 16刀完全更换一次 导轮每 500h更换 滑轮每 180h更换月需新液数量(升)2919600理论出片数量49.00833333186.5336kg,合格率为 95,则出片率为 46.51。
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