硅片清洗作业指导-solarbe文库

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文件编号 Q03-JS-43 清洗作业流程版本号 A/0 页码第 1 页共 4 页生效日期 2007 年 10 月 1 日1．目的规范清洗车间作业流程 ,保证输出合格成品 ,特制定本办法。2．范围清洗车间所有员工3．具体内容3． 1．作业准备3． 1． 1．进入清洗车间须穿戴专用工作服、鞋。3． 1． 2．准备好应该准备的物品和药品。3． 1． 3．准备好各类专用工具。3． 1． 4．开机前按工艺要求检查水、电、气，确认无误后，方可开机。3． 2 具体作业流程3． 2．预清洗3． 2． 1．将切好的晶棒平稳地放在预清洗水槽中。3． 2． 2．用海棉将晶棒两端与水槽之间的缝隙塞满，防止在预冲洗过程中，切好的晶棒向一方倾倒造成崩边，碎片。3． 2． 3．打开安装软管的水龙头，用手扶住硅片上侧，在硅片正上方循环移动进行冲洗 ,直到硅片底端没有脏水流出为止水龙头一定要与晶棒垂直。如图（ 1）胶带一边晶棒水龙头图（ 1）图（ 2）图（ 3）图（ 4）文件编号 Q03-JS-43 清洗作业流程版本号 A/0 页码第 2 页共 4 页生效日期 2007 年 10 月 1 日3． 3．脱胶3． 3． 1．预冲洗干净后将清洗槽内脏水放掉，从槽的两边注入 80℃左右的温水，水位刚好将硅片底部的胶浸泡住即可，注意温水一定不要溅到硅片表面。3． 3． 2．浸泡 3-5 分钟，直到硅片底部的胶软化，整个晶棒向一方自然伏倒。3． 3． 3．向槽内加入冷水，与槽内温水混合，至水温至 40℃左右停止加水，浸泡 2 分钟左右使晶棒冷却。3． 3． 4．冷却后将水排出，用手将少量硅片轻轻挪动，待硅片松动轻轻拿起 ,使硅片脱离胶水或玻璃板面，每次拿片长度在 5cm 以内。3． 3． 5．将冲洗干净的硅片头尾两边垫上海棉，整根晶棒垂直地放入盛满清水的蓝色周转筐内，水温 25℃左右，（注意水位必须将整个硅片浸泡住，浸泡时间最长不可超过 1 小时）。3． 3． 6．做好标识。3． 3． 7．将预清洗槽内碎硅片冲洗干净放入碎片筐内，做好相关记录（碎片记录表）。3． 4．插片3． 4． 1．戴手套作业。3． 4． 2．将专用插片槽内注满纯净水 ,片盒放入槽内开始插片 ,片盒如图（ 2）放置如图3． 4． 3．从周转箱内拿出少量硅片，左手将硅片托住，用大拇指将硅片一张张分开 ,右手拿硅片带胶一边正中位置 ,插入片盒内。插片力度不能过大 ,防止造成硅片崩边 ,缺角或破碎。片盒如图（ 3）放置 .每盒 25 片，不允许少插、斜插。3． 4． 4．一个晶棒编号插片末期，剩余片数不足 25 片的，单独插在一起，不可与其他编号硅片混插。3． 4． 5．将缺角和穿孔片区分，单独插在一起。3． 4． 6．及时更换插片槽内的水 ,保持槽内水干净清澈。3． 4． 7．做好相关记录（碎片记录）。文件编号 Q03-JS-43 清洗作业流程版本号 A/0 页码第 3 页共 4 页生效日期 2007 年 10 月 1 日3． 5．清洗3． 5． 1．戴手套、口罩作业。3． 5． 2．做好开机前点检 ,填写相关记录。3． 5． 3．用毛巾将机器擦洗干净，擦洗时不要将控制接线及开关碰断或坏并把机器周围清扫干净（注意不要让水进入控制面板内部）。3． 5． 4．打开清洗机电源开关，检查各表盘各程序、参数。发现异常情况立即通知班长，禁止在未经过班长 /主管的允许下私自删除 /更改机器程序、参数。3． 5． 5．打开“加热” 、 “超声”开关，各清洗槽参数设置如下第一、二槽水温 40℃ -45℃ 超声功率 100 第三、四槽水温 65℃ -67℃ 超声功率 100 第五、六槽水温 40℃ -45℃ 超声功率 100 3． 5． 6．第二槽加入 1000 毫升柠檬酸，第三、四槽中加入清洗剂，清洗剂暂定配比 .每槽约 6000 毫升，连续生产时每清洗 5000 片左右更换一次清洗剂，此时应先关闭电源，填写清洗剂更换 /添加记录。3． 5． 7．将插好硅片的片盒放入托盘内（摆放方式如图（ 4））打开 “鼓泡” 、 “摆动”开关。3． 5． 8．将托盘放入第一槽，打开循环水开始清洗，时间 6 8 分钟3． 5． 9． 6 8 分钟以后，将托盘从第一槽移至第二槽。（硅片从一个清洗槽移至另一个清洗槽要垂直提取、垂直放下，避免碰碎或造成内裂）。3． 5． 10．依次类推，每槽 6 8 分钟，直到清洗干净为止。3． 5． 11．若发现片子有未清洗干净，则需在第三至六槽重复清洗。3． 6．甩干3． 6． 1．将甩干机上的硅粉及水擦试干净。3． 6． 2．检查甩干机各程序、参数是否正常。3． 6． 3．将清洗干净的硅片连同片盒横向放置装入甩干机内（片盒必须保证平衡性，要求对称放置）。文件编号 Q03-JS-43 清洗作业流程版本号 A/0 页码第 4 页共 4 页生效日期 2007 年 10 月 1 日3． 6． 4．双手同时按控制面板两边的红色“关门”按钮，待门完全合闭后，按绿色“启动”按钮，甩干过程为 5min。3． 6． 5．所有硅片摆放完毕后，用毛巾将甩干机体内及表面擦拭干净。3． 6． 6． 5min 后，待控制面板上的时间归零，按“开门”按钮。3． 6． 7．打开门后，等机器内转盘停止转动，将片盒拿出。3． 6． 8．将甩干后的硅片整齐地排放到硅片传递桌上，把片盒内的碎片拿出来，每盒25 片。3． 6． 9．填写相关记录（硅片追踪单，清洗记录追踪表）。批准审核编制修改履历页码内容状态备注