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资源描述：
No. 中文 英文1 英文21 规格 硅片尺寸 Wafer size2 导电类型 Conductivity type3 电阻率 Resistivity4 氧含量 Carbon content5 碳含量 Oxygen content6 少子寿命 Lifetime7 硅片厚度 Center Thickness8 直角偏差 Angle between square sides9 总厚度偏差 TTV10 刀痕 Saw mark11 弯曲度 BOW12 翘曲度 Warp13 边缘缺角 Edge Defects14 翘曲度 Warp15 边缘缺角 Edge Defects
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