硅片定位边-solarbe文库

资源描述：

3）硅片定位边或定位槽在硅锭上做一个定位边来标明晶体结构和硅片的晶向。主定位边标明了晶体结构的晶向，如图 2.12 所示。还有一个次定位边标明硅片的晶向和导电类型。六吋以下的硅片都是如此定位的。八吋及以上的硅片已采用定位槽，具有定位槽的硅片在硅片背面靠近边缘的区域有激光刻上的关于硅片的信息。如图 2.13 所示。硅片的晶向是指与硅片表面垂直的方向，如 N硅片，其与硅片表面垂直的晶向就是晶向，定位边只是一种标识，是一种行业的规定，用来表示该硅片是那种类型（ P 型或 N 型）及其晶向的，本身的方向与硅片晶向无关。