硅片的等级标准-solarbe文库

资源描述：

硅片的检测版本 1 弯曲是指有效面积内有规律的发生形变，翘曲是指有效面积内局部发生形变。A 级 B 级 C级 D级 E 级线痕TVTTV孪晶多晶裂纹、裂痕应力空洞缺角V 型缺口弯曲度翘曲度硅多晶线性尺寸长度无或轻线无无无不存在多晶无无无无无无6≦ L≦ 100mm ≦ 10μ m,≦ 5 条≦ 20μ m ≦ 15 无不存在多晶无无无无无≦ ,50 μ m 6≦ L≦ 100mm ≦ 20μ m,≦ 10条≦ 20μ m ≦ 30 无不存在多晶无无无无无≦ 75μ m 6≦ L≦ 100mm ≦ 30μ m,≦ 15条≦ 20μ m ≦ 50 无不存在多晶无有无无无≦ 100μ m 6≦ L≦ 100mm ≦ 50μ m ＞ 20μ m ＞ 50 有存在多晶有严重可能碎裂有有有＞ 100μ m L＜ 6 或 L＞ 100mm 一、优等品1硅片表面光滑洁净2 TV 220± 20um 。3几何尺寸边长 125± 0.5mm；对角 150± 0.5mm、 148± 0.5mm、 165± 0.5mm；边长 103± 0.5mm、对角 135± 0.5mm；边长 150± 0.5mm、 156± 0.5mm、对角 203± 0.5mm、 200± 0.5mm、。同心度任意两个弧的弦长之差≤ 1mm 垂直度任意两边的夹角 90°± 0.3 二、合格品一级品垂直度任意两边的夹角 90°± 0.5 二级品 1表面有少许污渍、线痕。凹痕、轻微崩边。2 220± 30um ≤ TV≤ 220± 40um。3 凹痕硅片表面凹痕之和≤ 30um 4 崩边范围崩边口不是三角形，崩边口长度≤ 1mm ，深度≤ 0.5mm 5 几何尺寸边长 125± 0.52mm；对角 150± 0.52mm、 148± 0.52mm、 165± 0.52mm；边长 103± 0.52mm、对角 135± 0.52mm；边长 150± 0.52mm、 156± 0.52mm、对角 203± 0.52mm、 200± 0.52mm、。同心度任意两个弧的弦长之差≤ 1.5mm 垂直度任意两边的夹角 90°± 0.8 三级品1表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅洛现象。2 220± 40um ≤ TV≤ 220± 60um。3硅落整张硅片边缘硅晶脱落部分硅晶脱落。三、不合格品严重线痕、厚薄片 TV＞ 220± 60um。崩边片有缺陷但可以改￠ 103 的硅片气孔片硅片中间有气孔外形片切方滚圆未能磨出的硅片。倒角片（同心度）任意两个弧的弦长之差＞ 1.5mm 菱形片（垂直度）任意两边的夹角＞ 90°± 0.8 凹痕片硅片两面凹痕之和＞ 30um 脏片硅片表面有严重污渍且发黄发黑尺寸偏差片几何尺寸超过二级片的范围。注以上标准针对的硅片厚度为 220um 。硅片等级分类及标准（ 150*150）一、优等品（Ⅰ类片）1、物理、化学特性①型号 P 晶向 [100] ± 1°②氧含量≤ 1.0X10 18 at/cm 3③碳含量≤ 5X1016 at/cm 3④勺子寿命 T1.3 3.0us （在测试电压≥ 20mv下裸片的数据）⑤电阻率 0.9 1.2 、 1。 2 3.0 、 3.0-6.0 Ω /cm ⑥位错密度≤ 3000 个 /cm 2、几何尺寸①边长 125*125 ± 0.5mm ②对角 150*150 ± 0.5mm ③同心度任意两弧长之差≤ 1mm ④垂直度任意两办的夹角 90°± 0.3 °⑤厚度 200± 20 um，（中心点厚度≥ 195um，边缘四角厚度≥ 195um）180± 20 um，（中心点厚度≥ 175um，边缘四角厚度≥ 160um）⑥ TTV ≤ 30um ⑦弯曲度≤ 40um 3、表明指标① 线痕无可视线痕②目视表面无粘污、无水渍、染色、白斑、指印等③无崩边无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲二、合格品（Ⅱ类片）2、物理、化学特性①型号 P 晶向 [100] ± 1°②氧含量≤ 1.0X10 18 at/cm 3③碳含量≤ 5X1016 at/cm 3④勺子寿命 T1.3 3.0us （在测试电压≥ 20mv下裸片的数据）⑤电阻率 0.5-0.8 Ω /cm ⑥位错密度≤ 3000 个 /cm 2、几何尺寸①边长 125*125 ± 0.5mm ②对角 150*150 ± 0.5mm ③同心度任意两弧长之差≤ 1.5mm ④垂直度任意两办的夹角 90°± 0.3 °⑤厚度 200± 20 um，（中心点厚度≥ 195um，边缘四角厚度≥ 180um）180± 20 um，（中心点厚度≥ 175um，边缘四角厚度≥ 160um）⑥ TTV ≤ 30um ⑦弯曲度≤ 40um 3、表明指标① 线痕无明显线痕、触摸无凹凸感。③崩边范围崩边口不是“ V”型，长 X 深≤ 1X0.5mm ，无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲三、等外品（Ⅲ类片）3、物理、化学特性①型号 P/N 晶向 [100] ± 3°②氧含量≤ 1.0X10 18 at/cm 3③碳含量≤ 5X1016 at/cm 3④勺子寿命 T＜ 1.0us （在测试电压≥ 20m下裸片的数据）⑤电阻率≤ 0.5 Ω /cm ⑥位错密度＞ 3000 个 /cm 2、几何尺寸①边长 125*125 ± 1.0mm ②对角 150*150 ± 1.0mm ③同心度任意两弧长之差≤ 1.5mm ④垂直度任意两办的夹角 90°± 0.5 °⑤厚度＜ 160um 3、表明指标① 有明显视线痕，触摸有凹凸感