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资源描述:
硅片电阻测试仪硅片电阻测试仪是用来测量硅片、 硅单晶、 锗单晶电阻率的测量仪器。 它由电气测量部份 (简称 主机) 、测试架、四探针头及专业测量软件组成。功能特点本套仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流 /测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05 的恒流源,使测量电流高度稳定。主机配有恒流源开关,在测量某些薄层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。主机配置了 “ 小游移四探针头 ” ,探针游移率在 0.1 ~0.2 。 保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。 本套仪器使用专用软件进行数据采集 ,可实现自动换向测量、存储 ,求平均值,最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容。技术参数测量范围■ 可测电阻率 0.0001 ~ 1.9*10 4Ω· cm探针■ 使用几何尺寸十分精确的红宝石轴套,确保探针间距的恒定、准确。■ 控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于 6μ m,保证探针的小游移率。■ 采用特制的 S 型悬臂式弹簧,使每根探针都具有独立、准确的压力。■ 量具精度的硬质合金探针,在宝石导孔内稳定运动,持久耐磨。恒流源■ 输出电流 DC 0.001 ~ 100mA 五档连续可调■ 量程0.001 ~ 0.01mA 0.01 ~ 0.10mA 0.10 ~ 1.0mA 1.0 ~ 10mA 10 ~ 100mA ■ 恒流精度各档均低于 ± 0.05 直流数字电压表■ 测量范围 0~ 199.99mV ■ 灵敏度 10μV■ 基本误差 ± ( 0.004 读数 0.01 满度)■ 输入阻抗 ≥ 1000ΩM供电电源■ AC 220V± 10 50/60 Hz 功率 12W 使用环境■ 温度 23± 2℃ 相对湿度 ≤ 65■ 无较强的电场干扰,无强光直接照射重量、体积■ 主机重量 7.5kg ■ 体积 365 380 160 (单位 mm 长度 宽度 高度)
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