硅片标准-solarbe文库

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BA A2 B1、 B2、 B3 B71 导电类型 P P 硅片分选设备硅棒保证2 隐裂、针孔无隐裂、无针孔无隐裂、无针孔硅片分选设备抽检3 崩边长度≤ 1 mm，深度≤ 0.5mm，每片崩边总数≤ 2 处；长度≤ 1 mm，深度≤ 0.5 mm，每片崩边总数≤3处；B1 1mm＜崩边长度≤ 5mm， 1mm＜深度≤ 2mm，1＜崩边总数≤3目测全检4 TTV ≤ 30 μ m ≤ 30 μ m B2 30 μ m＜TTV≤ 50 μ m； MS-202 抽检5 厚度 200± 20 μ m 200± 20 μ mB3 厚度偏差超过± 20 μ m但小于± 40 μ mMS-203 抽检6 边长125± 0.5mm/156± 0.5mm125± 0.5 mm/156± 0.5 mmB4 硅片尺寸偏差超过± 0.5mm但小于± 1.0mm游标卡尺抽检7 对角线 150± 0.5mm/200± 0.5mm150± 0.5 mm/200± 0.5 mmB5 150±1mm/200± 1 mm 游标卡尺抽检8 角长19.97-22.13/14.46-16.39mm19.97-22.13/14.46-16.39mm/ 硅棒保证9 线痕深度≤ 8 μ m 深度≤ 15 μ m B6 15 μ m＜深度≤ 30 μ m目测、必要时使用表面粗糙度仪帮助判定全检10 电阻率 1-3 Ω cm； 3-6Ω cm1-3 Ω cm； 3-6 Ωcm四探针 /RT-110 硅棒保证11 少子寿命 ≥ 10μ s ≥ 10 μ s 少子寿命测试仪硅棒保证12 表面质量状况硅片表面及侧面无凹坑，无沾污，无氧化，无穿孔，无裂纹，无划伤；硅片表面及侧面无凹坑，无明显沾污（表面沾污总面积小于3mm2 ，每一百片单边侧面沾污总面积小于 20mm2 ）（判断时参照沾污样本片进行判定），无氧化，无穿孔，无裂纹，无划伤；B7 硅片表面有沾污但硅片颜色不发黑；油点或其他赃物不得有 3处，每处沾污或其他赃物面积≤ 1mm2目测全检13 翘曲度 ≤ 80 μ m ≤ 80 μ m ≤ 80 μ m 目检抽检14 氧碳含量氧含量≤1x1018atoms/cm3 ；碳含量≤5.0x10 16atoms/cm3氧含量≤1x10 18atoms/cm 3；碳含量≤1.5x10 17atoms/cm3氧含量≤1x1018atoms/cm 3；碳含量≤1.5x10 17atoms/cm3Nicolet6700 硅棒保证编制审核批准AC D 检测方法检验方式可划片（不合格产品），但在划为小规格尺寸（ 125125）硅片后，其他性能符合 A级硅片标准不合格产品，即不满足 A、 B、 C级要求的硅片均归为 D级太阳能单 , 多晶硅片质量等级分类方法序号检验项目

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