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检测项目 硅片厚度 A级片标准 物料编码 备注180um 任意点厚度在 180± 18um，95中心点厚度在 180± 10um 01190um 任意点厚度在 190± 18um，95中心点厚度在 190um± 10um200um 任意点厚度在 200± 18um，95中心点厚度在 200± 10um 02180um 任意点厚度在 180± 18um，95中心点厚度在 180± 10um 01195um 任意点厚度在 190± 18um，95中心点厚度在 190um± 10um 06200um 任意点厚度在 200± 18um，95中心点厚度在 200± 10um 02180um 任意点厚度在 180± 18um，95中心点厚度在 180± 10um 01190um 任意点厚度在 190± 18um，95中心点厚度在 190um± 10um200um 任意点厚度在 200± 18um，95中心点厚度在 200± 10um 026.5 掺镓 200um 任意点厚度在 200± 18um，95中心点厚度在 200± 10um 02180um 任意点厚度在 180± 18um，95中心点厚度在 180± 10um 01190um 任意点厚度在 190± 18um，95中心点厚度在 190um± 10um200um 任意点厚度在 200± 18um，95中心点厚度在 200± 10um 02厚度总偏差翘曲线痕崩边、边缘应力色差尺寸未磨光倒角差污片电阻率 13Ω .cm， 36Ω .cm氧含量 [O] ≤ 20ppma碳含量 [C] ≤ 5ppma少子寿命 г ≥ 10μ s不允许有由于切片中引起的色差（参照样片）TTV≤ 30umwarp≤ 50um在正常检验条件下（正常灯光和方向）在客户特殊要求时，按客户要求执行ASTM 83 标准物理性能6 掺硼156 156 200 8 掺硼单面线痕深度小于 15um，不允许在 1cm内有 5条以上允许周长＜ 1mm深 0.5mm的崩边数目不多于两个；深无6 掺镓6.5 掺硼125 125 150125 125 165FTIR检测尺寸、对角线公差± 0.5mm无≤ 0.5mm不允许有可见的污点、污斑1、其中任意点厚度用 5点法测量（ 4个角点为离角边 10至15mm处和 1个中心附近），测量仪器为 MS203。2、针对
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