FORTIX硅片分选机操作与维修手册nwd2-solarbe文库

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FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 1 -- 1 -FORTIX 操作流程1．开机然后将 FORTIX 机台电源（ MAIN POWER）打开将 FORTIX 主机和 SEMILAB 主机的 UPS 电源分别打开，机台电源开关FORTIX 主机UPS 电源开关FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 2 -- 2 -如上图，待 UPS 处于 ON LINE 状态时，方可将 FORTIX 和 SEMILAB 开机 SEMILAB 主机 UPS 电源开关FORTIX 主机开机按钮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 3 -- 3 -SEMILAB 键盘上 Ctrl 两次是切换键，可以进行少子寿命模组和厚度电阻率 TTV 模组之间的切换。然后将 INTEK PLUS 三个模组（正面检测，微裂纹检测，背面检测）的主机电源打开，INTEK PLUS 键盘上 Ctrl 两次可以进行正面模组，微裂纹模组，背面模组间的切换。1. FORTIX 主机厚度模组主机开机按钮正面检测模组主机开机按钮少子寿命模组主机开机按钮背面检测模组主机开机按钮微裂纹检测模组主机开机按钮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 4 -- 4 -1）开机后打开 FORTIX 软件，进入 MMI 界面；初始化完成后用操作手柄按 99 进行复位，并手动将 12 个片盒复位。2）点击 LOT ID ，输入硅片的批次或单号。3）复位完成后，要对分类进行确认，方法是点击 SORTING DATA FILE ，进入界面后点击APPLY---CLOSE ；硅片分类设定输入硅片批次或单号FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 5 -- 5 -少子寿命模组1 开机后打开 uPCD 软件，点击 STOP 进入静态测试模式；2 放入当前批次硅片，点击进入 Recorder 界面，点击 Autosetting 按钮进行参数自动设置；3）完成后点击 START 进入动态测试模式；4）手动测试一片（ 97），点击 Linescan 观察曲线情况，在曲线上点击右键选择 Skip Edge 可进行边缘剔除，会先后弹出两个对话框，第一个是前部剔除，第二个是后部剔除。边缘调整好之后可以正常测试。参数自动设置按钮动态测试模式，需点击 STOP动态测试模式数据保存FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 6 -- 6 -5）数据保存点击 Clear Statistics 输入硅片批次或单号进行数据保存，然后点击 New Batch。new Batch 批新clear statistics 清晰的统计functions 功能calibrate thickness 校准厚度calibrate resistivity 校准电阻率compensate resistivity 补偿电阻率Clear Resistivity Offset 明显偏置电阻率clear 清楚offset 抵消FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 7 -- 7 -3. 厚度电阻率 TTV 模组1）开机后打开 cap 软件，点击 STOP 进入静态测试模式， Average 为 8；2）对模组进行校准，步骤如下a 点击 STOP，将校准片放入探头下对准，点击 Calibrate Thickness 校准厚度，输入校准片的实际厚度值，点击 OK ；b）取出校准片，点击 New，再点击 compensate Resistivity 补偿电阻率；c）放入校准片，点击 New ，再点击 Calibrate resistivity 校准电阻率，输入校准片的电阻值，点击OK；d）取出校准片，点击 START 进入动态测试模式；数据保存Average 为 8 校准用按钮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 8 -- 8 -e）观察 Linescan 中的曲线，可进行边缘剔除 Skip Edge；new Batch 批新clear statistics 清晰的统计functions 功能calibrate thickness 校准厚度calibrate resistivity 校准电阻率compensate resistivity 补偿电阻率Clear Resistivity Offset 明显偏置电阻率clear 清楚offset 抵消3）数据保存点击 Clear Statistics 输入硅片批次或单号进行数据保存，然后点击 New Batch 批新。建议每四个小时校准一次。4 Troubleshooting有时皮带正常运行，模组却没有进行测试可能是以下几个原因a） Start 按钮没有点击 ---------- 点击 Start 按钮b） Average 的数值太高 --------- 调低 Average 的值，可以调整到 8c）边缘剔除 Skip Edge 值太多，导致测试时间过短 ------ 将 Skip Edge 的值适当减小4.正面检测模组1）开机后先后打开“ shortcut to isolar_host ”软件和“ isolar_vision ”软件2）进入“ shortcut to isolar_host”软件首先进行初始化，点击 Initialize, 然后点击 Lot Start 选择产品，最后点击 Start 即可。5.背面检测模组，微裂纹检测模组1）开机后打开“ isolar_vision ”软件即可。1． Initialize初始化2． Lot Start选择产品3． Start开始FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 9 -- 9 -2． AUTO RUN 前机台准备工作所有马达复位（操作手柄按 99）确保安全门是关闭的确保没有 ERROR 报警（ FORTIX 操作界面里的 ERROR 栏）操作手柄安全门在AUTORUN 时是必须关闭的FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 10 -- 10 -注意①当出现报警时，先检查 Error, 确保没有 Error 之后，即 Error 清除之后，再按Reset, 之后按 Start 。3．生产过程中或下料A硅片分类时片盒满 100 片之后会报警，请及时将硅片取出后放回片盒；B上料端两边最多各可放 3 个满的花篮，放置空花篮的的区域两边也最多只能放 3 个， 3 个满了时或未满 3 个时都请务必及时将空卡盒取出。ERROR报警项最多只能放3 个满花篮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 11 -- 11 -4．关机① SEMILAB 将运行界面关闭之后关机，切换到另外一个界面，关闭后关机即可。② INTEK PLUS 在界面上点击 STOP 后，在 FILE 里点击 EXIT 退出， CTRL 两侧切换各个界面同样的方法关闭后关机。③ FORTIX 将运行界面关闭，输入密码，退出后关机。④ 将两个 UPS 电源关闭。⑤ 将主电源 main power 关闭。手动操作界面最多只能放3 个空花篮， 3 个满了后请务必立即将其取出FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 12 -- 12 -操作手柄手动操作指令代码的含义（数字 SET ）数字代码名称功能解释01 LOADER M/Z FWD/BWD 1 MOTORMOVE ● 机械手 1 前后移动02 LOADER M/Z UP/DOWN 1 MOTORMOVE ● 机械手 1 上下移动03 LOADER M/Z FWD/BWD 1 SAFETY POS’ ’MOVE ● 机械手 1 前后方向安全区移动04 LOADER M/Z CLAMP 1 OPEN/CLOSE ● 机械手 1 的抓手打开与关闭（汽缸控制） .05 LOADER M/Z STOPPER 1 FWD/BWD ● 进料台 1 的花篮挡块前后移动（汽缸控制） .06 LOADER M/Z RAIL CLAMP 1OPEN/CLOSE ● 进行 5 寸 6 寸硅片生产的切换时，进料台 1 汽缸的前后移动 .07 LOADER M/Z LOADING CONVEYOR 1MOVE ● 进料台 1 的皮带转动 .08 LOADER M/Z UNLOADING CONVEYOR1 MOVE ● 出料台 1空蓝的皮带转动 .11 LOADER M/Z FWD/BWD 2 MOTORMOVE ● 机械手 2 前后移动12 LOADER M/Z UP/DOWN 2 MOTORMOVE ● 机械手 2 上下移动13 LOADER M/Z FWD/BWD 2 SAFETY POS’ ’MOVE ● 机械手 2 前后方向安全区移动14 LOADER M/Z CLAMP 2 OPEN/CLOSE ● 机械手 2 的抓手打开与关闭（汽缸控制） .15 LOADER M/Z STOPPER 2 FWD/BWD ● 进料台 2 的花篮挡块前后移动（汽缸控制） .16 LOADER M/Z RAIL CLAMP 2OPEN/CLOSE ● 进行 5 寸 6 寸硅片生产的切换时，进料台 2 汽缸的前后移动 .17 LOADER M/Z LOADING CONVEYOR 2MOVE ● 进料台 2 的皮带转动 .18 LOADER M/Z UNLOADING CONVEYOR2 MOVE ● 出料台 2（空蓝）的皮带转动 FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 13 -- 13 -21 INLET FEEDER FWD/BWD MOTORMOVE ● 抽片模块前后移动 .22 INLET RAIL FEEDER MOTOR FWDMOVE ● 抽片皮带向前转动 .23 INLET RAIL FEEDER MOTOR FWDCONTINUE MOVE ● 抽片皮带连续转动 .24 SEMILAB RAIL FEEDER MOTOR FWDMOVE ● SEMILAB 检测区皮带向前转动 .25 SEMILAB RAIL FEEDER MOTOR FWDCONTINUE MOVE ● SEMILAB 检测区皮带连续转动 .31 SORT UP/DN 1 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 1 上下移动 .32 SORT FWD/BWD 1 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 1 的皮带向前转动 .33 SORT FWD/BWD 1 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 1 的皮带向后转动 .34 SORT UP/DN 2 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 2 上下移动 .35 SORT FWD/BWD 2 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 2 的皮带向前转动 .36 SORT FWD/BWD 2 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 2 的皮带向后转动 .37 SORT UP/DN 3 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 3 上下移动 .38 SORT FWD/BWD 3 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 3 的皮带向前转动 .39 SORT FWD/BWD 3 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 3 的皮带向后转动 .40 SORT UP/DN 4 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 4 上下移动 .41 SORT FWD/BWD 4 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 4 的皮带向前转动 .42 SORT FWD/BWD 4 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 4 的皮带向后转动 .43 SORT UP/DN 5 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 5 上下移动 .44 SORT FWD/BWD 5 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 5 的皮带向前转动 .45 SORT FWD/BWD 5 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 5 的皮带向后转动 .46 SORT UP/DN 6 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 6 上下移动 .47 SORT FWD/BWD 6 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 6 的皮带向前转动 .48 SORT FWD/BWD 6 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 6 的皮带向后转动 .49 SORTER RAIL GUIDE FWD/BWD ● 硅片分类前对正挡块前后移动（汽缸控制） .50 SORTER RAIL FEED MOVE ● 硅片分类区主皮带向前转动 .91 LOADER M/Z 1 LOADING CYCLE ● 机械手 1 从进料台抓取花篮的连续动作 .92 LOADER M/Z 1 UNLOADING CYCLE ● 从机械手 1 上将花篮退到出料台上的连续动作 .93 LOADER M/Z 2 LOADING CYCLE ● 机械手 2 从进料台抓取花篮的连续动作 .94 LOADER M/Z 2 UNLOADING CYCLE ● 从机械手 2 上将花篮退到出料台上的连续动作 .95 LOADER M/Z 1 WAFER LOADINGCYCLE ● 机械手 1 上已有花篮，从中抽片的连续动作 .96 LOADER M/Z 2 WAFER LOADINGCYCLE ● 机械手 2 上已有花篮，从中抽片的连续动作 .97 SEMILAB INSPECTION CYCLE ● SEMILAB 检测区皮带连续转动，同时模组检测 .98 WAFER SORT CYCLE ● 硅片分类区主皮带连续转动 .99 ALL MOTOR HOME● 机台上所有马达恢复到初始位置 .● 开机后重启软件机台自动跑片前必须执行所有马达复位 .分选机机械手抓篮动作顺序1、花蓝挡块气击缸前进2、机械手前后移动的电机移动到抓篮位置FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 14 -- 14 -3、机械手上下移动电机移动到抓篮等待位置4、进篮皮带向前移动5、 X206 感应到皮带上有花蓝6、机械手上下移动的电机移动到抓篮位置7、机械手上升确认片盒正反面（单晶 X208 X213 X215 全部 ON 多晶X212 X214 X215 全部 ON）8、 X206 ON 位置确认9、机械手抓篮气缸关闭抓篮10、机械手上下移动的电机到抓篮起来的位置11、花篮挡块气缸后退12、机械手抓篮成功，移动到工作区或等待区FORTIX troubleshooting总则维护机台前必须熟悉机台的结构，工作原理，遵循 FORTIX 维护手册的操作流程来进行机台问题的处理和机台的维护1. 上料部分1）当操作员不小心将花篮底朝上上料时，机械手抓取花篮，传感器感应到花篮正反面不对， MMI 会报一个‘ Loader 1/2 MZTurn over ’ 的ERROR148/152，这时操作手柄按 04（ Loader 1）或 14（ Loader 2）将机械手打开，小心的将花篮取出放好，依次按 Reset和 Start 继续生产。FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 15 -- 15 -2）当操作员不小心在上料的时候花篮的边相互挤压，造成皮带转动时花篮不能前进，此时应将花篮适当分开，依次按 Reset和 Start 继续生产。3）若在进料处出现机械手不能抓取花篮（进料台上有花篮的前提下），MMI 上报警 ‘ LOADER 1/2 M/Z MIS-LOAD ’ 147/151，或者报警 “ LOADER1/2 MZ CLAMP OPEN/CLOSE CYLINDER TIME OVER” （ 113/116）此时检查花篮是否完全在进料台皮带上，然后用操作手柄按 04（ Loader 1）或 14（ Loader2）将机械手打开，将花篮放正，依次按 Reset和 Start 继续生产。4）上料前可观察花篮里是否有碎片，若有可用镊子取出。如若花篮有碎片而继续上料，或硅片脱胶不完全造成粘片，机械手在抓取花篮后，抽片时，MMI 会报一个‘ LOADER 1/2 WAFER MIS-LOAD ’的 ERROR155/156，此时机台停止运行，可用操作手柄手动按 21（抽片模块后退，使其传感器不被触发） - → 92（ Loader 1）或 94（ Loader 2）将花篮退到出料端，取出花篮将碎片或粘片取出，依次按 Reset和 Start 继续生产。5）出料端花篮 3 个满了之后会报警，要及时将空花篮取出；机台运行时如果不能及时上料，即机械手来抓取花篮，因没花篮而报警（但正常运行），在你放入花篮后应按 Reset，此时皮带会传送花篮，机械手继续工作。2. 检测部分2-1， SEMILAB 模组1）有时皮带正常运行， SEMILAB 模组却没有进行测试， MMI 报警出现ERROR THICKNESSLIFETIME DATA NOT RECEIVED ，可能是以下几个原因FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 16 -- 16 -a）模组软件没有开启或开启后 Start 按钮没有点击 ------确认软件开启并点击 Start 按钮b） Average的数值太高 ------调低 Average的值，可以调整到 8 或 4 或 2c）边缘剔除 Skip Edge值太多，导致测试时间过短 ------将 Skip Edge的值适当减小d）软件出现 DEMO------ 查看是否开启多个软件窗口，查看线路的连接是否松动，关机重启2）厚度 /电阻率 /TTV 模组每 4 小时校准一次；少子寿命模组每 4 小时用当前当批次任意一个硅片放入模组下，点击RECORDER 界面后，再点击 Autosetting 进行参数自动调整即可2-2， INTEK PLUS 模组1） INTEK PLUS 有三个检测模组（ Vision 1, Vision 2, Vision 3），和一个HOST，在 HOST 界面，确定模组的连接情况及与 FORTIX handler 的连接情况，绿色表示连接正常，灰色表示检测模组未连接，应检查三个检测模组及软件是否开启，若开启可在 HOST 界面直接点击 Vision 1 或 Vision 2 或 Vision3，出现对话框直接点击 OK 进行连接即可；红色表示 HOST 与 FORTIX 未连接，检查模组的皮带上面是否有硅片，若有及时拿掉，然后在 HOST 界面点击 Initialize 进行初始化连接即可。3. 分类部分1）每一个片盒满 100片后机台报警，请及时将硅片取出，把片盒正确的放回原位，片盒将自动复位。FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 17 -- 17 -2）硅片如果不能很好的插入片盒，可以适当调整片盒的位置。3）如果硅片在进入片盒前遮挡住传感器，机台会报警停机，须将硅片放入片盒，依次按 Reset和 Start 继续生产。4）如果硅片过多的进入最后一个片盒，请确认 SEMILAB 的检测模组是否正常，以及打开 FORTIX MMI 界面的 SORTING DATA FILE（分类文件设定）里点击 APPLY 和 CLOSE。4. 其他1）生产过程中确保所有安全门都是关闭的2）放片和取片需正确操作，以免影响机台的运行3 机台发生报警，可以查阅 MMI 界面 ERROR 菜单里面相应的代码，其包含报警信息，发生报警部件的位置图片显示，发生报警的原因，报警错误信息的解决方法4）马达如果报警，用手柄按 ERROR 提示的进行操作，再按 Reset，马达驱动报警的话，如果此操作不能解决问题，可将机台关机，把机台的电源（ MAIN POWER）关闭， 5 分钟后再开启机台的电源，重新开启 UPS 和各主机电源，则马达驱动报警会自动解除并恢复好5 机台如有某部件不能正常工作，请先检查相应的传感器或线路或马达，参照维护手册的操作流程来解决问题5. 注意与提醒FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 18 -- 18 -1）机台出现紧急情况，应立即按下紧停按钮将机台断电，以保护机台和人身安全2）机台出现故障，请务必保持冷静，不急不慌，先将机台停止下来，知悉出现故障部分的地方是怎么样的工作流程后，理清思路，按照维护手册或电气接线图一步一步排查，将问题解决。通常的问题都可以通过手柄操作进行解决，所以请您在熟悉机台结构和工作原理后按照手柄操作指令进行操作INTEK 软件操作说明INTEK PLUS 有三个检测模组正面，隐裂，背面，对应有三个主机，但是三个主机共用一个显示器，可通过 KVM 转换器进行切换到各个模组检测，只需在键盘上按 Ctrl 两次后上下选择Vision 1， Vision 2 或 Vision 3。Vision 1 主界面包括 2 个软件，分别是 host 和 isolar_vision 如下图所示1 HOST 界面FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 19 -- 19 -2） isolar_vision 界面①②③FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 20 -- 20 -其中 HOST 软件是人机对话界面， ISOLAR 是工艺参数设定软件。1） host 软件操作说明选择产品工艺开始测试手动测试开机复位马达参数设置FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 21 -- 21 -选择 Motor View 后进入界面首先选择马达，更改到认为合适的位置后，按 TEACH 后再 SAVE马达参数调整结束选择 MANUAL INSP 后进入以下界面手动调整马达位置参数选择马达FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 22 -- 22 -将片子放在测试皮带上，并且将所需要测试的软件 ISOLAR 1， 2， 3 打开并 start 后。点击 START 后，可到 Isolar 软件界面下检查硅片的检测结果并分析FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 23 -- 23 -如图所示可在 setting 选项下， Inline Image save 中选择是否需要保存不合格硅片的检测图片，如选择 Reject Only ,务必定期清理图片，图片保存路径为C/intekplus/ isolar/vision/image .2 ISOLAR 软件说明检测项目VISION 1 正面油污，尺寸，崩边，缺口，线痕VSION 2隐裂VISION3 背面油污，崩边，缺口，线痕图片保存设置FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 24 -- 24 -1． Vision 1 软件介绍其中 CALIB 是模组光学校准工具TEACH 是更改软件工艺参数工具STOP 是软件开关TEST 是手动测试工具检测项目包括 chiping 崩边Broken 缺口Length 边长Edge width 倒角长Edge angle 倒角角度Stain 油污Diameter 对角线长Orthogonality 垂直度Sawmark 线痕校准参数设定开始测试FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 25 -- 25 -1）如何更改尺寸参数设定。首先点击所需要更改的参数项，以尺寸为例，首先鼠标点击尺寸项 Length-----TEACH后进入如下界面1.点击 TEACH --------- 然后点击上方第 6 项 Criteria ------TEACH----- 点击 property -----后可更改工艺参数，选项中当前设定尺寸标准为 155.5-156.6 mm .2 参数设置保存参数更改完成后点击 QUITE 退出参数设定界面回到 ISOLAR 的主界面Propertycriteria工艺参数补偿参数设置设置参数保存FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 26 -- 26 -点击 FILE----SAVE JOB----Transfer Job to host转移工作主机完成。2）如何更改油污参数设定。选择 STAIN 选项后 --------- 点击 TEACH 进入如上界面 --------------TEACH -------- 点击第 4 项Blobcriteria -----------TEACH --------Property可以根据硅片参数要求以及实际生产情况调整工艺参数，包括单个油污面积大小以及总面积大小和数量。更改完成后保存步骤同上。选择第 3 项 Blob ----TEACH-----Property 后工艺参数工艺参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 27 -- 27 -可以更改油污的最小检测单位面积，此数值关系到检测的精度，设置的越小检测的精度越高，但同时也会由于硅片表面其他的影响造成误判。客户可根据自己硅片的实际情况设置该参数。设置完成后保存同上选择第 2 项，可以调整 LED 光的强弱，可根据硅片生产情况作相应调整选择第 1 项，可以调整硅片表面油污检测的范围，如此范围超出硅片以外，会造成误判3）如何更改崩边缺口参数设定选择 CHIPPING 选项后 --------- 点击 TEACH 进入如上界面 --------------TEACH -------- 点击第 6 项Blobcriteria -----------TEACH --------Property可以根据硅片参数要求以及实际生产情况调整工艺参数，包括单个崩边尺寸大小以及面积大小和数量。更改完成后保存步骤同上。选择第 5 项 Blob ---------TEACH---------Property工艺参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 28 -- 28 -选择第 5 项 Blob ----TEACH-----Property 后该工艺参数为最小检测单位面积，此数值关系到检测的精度，设置的越小检测的精度越高，但同时也会由于硅片表面其他的影响造成误判。客户可根据自己硅片的实际情况设置该参数。选择第 4 项 colorthreshold ---------TEACH -------Property 后进入如下界面工艺参数LED 参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 29 -- 29 -根据生产情况可调整 LED 光源参数，例如当出现误判时。参数更改完成后，数据保存同上。4）如何更改 SAMARK 线痕参数选择 sawmark 选项 -------TEACH-------- 后进入如下界面该工艺参数为线痕的判断标准，数值越小，则检测越严格。根据实际生产情况作相应调整。2． VISION 2 软件说明工艺参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 30 -- 30 -点击选项 1 microcrak -------TEACH----- 进入以上界面 -------- 选择第 9 项 blobcriteria ------TEACH---------Property---- 进入如下界面更改参数后保存同上。工艺参数