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FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 1 -- 1 -FORTIX 操作流程1. 开机然后将 FORTIX 机台电源( MAIN POWER)打开将 FORTIX 主机和 SEMILAB 主机的 UPS 电源分别打开,机 台 电 源开关FORTIX 主机UPS 电 源 开关FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 2 -- 2 -如上图,待 UPS 处于 ON LINE 状态时,方可将 FORTIX 和 SEMILAB 开机 SEMILAB 主机 UPS 电 源开关FORTIX 主机开机按钮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 3 -- 3 -SEMILAB 键盘上 Ctrl 两次是切换键, 可以进行少子寿命模组和厚度电阻率 TTV 模组之间的切换。然后将 INTEK PLUS 三个模组(正面检测,微裂纹检测,背面检测)的主机电源打开,INTEK PLUS 键盘上 Ctrl 两次可以进行正面模组,微裂纹模组,背面模组间的切换。1. FORTIX 主机厚 度 模 组 主机开机按钮正 面检 测模 组主机开机按钮少 子 寿 命 模组 主 机 开 机按钮背 面检 测模 组主机开机按钮微 裂纹 检测 模组 主机 开机 按钮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 4 -- 4 -1) 开机后打开 FORTIX 软件,进入 MMI 界面;初始化完成后用操作手柄按 99 进行复位,并手动将 12 个片盒复位。2) 点击 LOT ID ,输入硅片的批次或单号。3)复位完成后,要对分类进行确认,方法是点击 SORTING DATA FILE ,进入界面后点击APPLY---CLOSE ;硅片分类设定输 入 硅 片 批次或单号FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 5 -- 5 -少子寿命模组1 开机后打开 uPCD 软件,点击 STOP 进入静态测试模式;2 放入当前批次硅片,点击进入 Recorder 界面,点击 Autosetting 按钮进行参数自动设置;3)完成后点击 START 进入动态测试模式;4)手动测试一片( 97) ,点击 Linescan 观察曲线情况,在曲线上点击右键选择 Skip Edge 可进行边缘剔除,会先后弹出两个对话框,第一个是前部剔除,第二个是后部剔除。边缘调整好之后可以正常测试。参 数 自 动设置按钮动 态 测 试模式,需点击 STOP动 态 测 试模式数据保存FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 6 -- 6 -5)数据保存点击 Clear Statistics 输入硅片批次或单号进行数据保存,然后点击 New Batch。new Batch 批新clear statistics 清晰的统计functions 功能calibrate thickness 校准厚度calibrate resistivity 校准电阻率compensate resistivity 补偿电阻率Clear Resistivity Offset 明显偏置电阻率clear 清楚offset 抵消FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 7 -- 7 -3. 厚度电阻率 TTV 模组1)开机后打开 cap 软件,点击 STOP 进入静态测试模式, Average 为 8;2)对模组进行校准,步骤如下a 点击 STOP,将校准片放入探头下对准,点击 Calibrate Thickness 校准厚度 ,输入校准片的实际厚度值,点击 OK ;b)取出校准片,点击 New,再点击 compensate Resistivity 补偿电阻率 ;c)放入校准片,点击 New ,再点击 Calibrate resistivity 校准电阻率 ,输入校准片的电阻值,点击OK;d)取出校准片,点击 START 进入动态测试模式;数据保存Average 为 8 校准用按钮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 8 -- 8 -e)观察 Linescan 中的曲线,可进行边缘剔除 Skip Edge;new Batch 批新clear statistics 清晰的统计functions 功能calibrate thickness 校准厚度calibrate resistivity 校准电阻率compensate resistivity 补偿电阻率Clear Resistivity Offset 明显偏置电阻率clear 清楚offset 抵消3)数据保存点击 Clear Statistics 输入硅片批次或单号进行数据保存,然后点击 New Batch 批新 。建议每四个小时校准一次。4 Troubleshooting有时皮带正常运行,模组却没有进行测试可能是以下几个原因a) Start 按钮没有点击 ---------- 点击 Start 按钮b) Average 的数值太高 --------- 调低 Average 的值,可以调整到 8c)边缘剔除 Skip Edge 值太多,导致测试时间过短 ------ 将 Skip Edge 的值适当减小4.正面检测模组1)开机后先后打开“ shortcut to isolar_host ”软件和“ isolar_vision ”软件2)进入“ shortcut to isolar_host”软件首先进行初始化,点击 Initialize, 然后点击 Lot Start 选择产品,最后点击 Start 即可。5.背面检测模组,微裂纹检测模组1)开机后打开“ isolar_vision ”软件即可。1. Initialize初始化2. Lot Start选择产品3. Start开始FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册 - 9 -- 9 -2. AUTO RUN 前机台准备工作所有马达复位(操作手柄按 99) 确保安全门是关闭的确保没有 ERROR 报警( FORTIX 操作界面里的 ERROR 栏) 操作手柄安 全 门 在AUTORUN 时是必须关闭的FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 10 -- 10 -注意①当出现报警时,先检查 Error, 确保没有 Error 之后,即 Error 清除之后,再按Reset, 之后按 Start 。3.生产过程中或下料A硅片分类时片盒满 100 片之后会报警,请及时将硅片取出后放回片盒;B上料端两边最多各可放 3 个满的花篮,放置空花篮的的区域两边也最多只能放 3 个, 3 个满了时或未满 3 个时都请务必及时将空卡盒取出。ERROR报警项最多只能放3 个满花篮FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 11 -- 11 -4.关机① SEMILAB 将运行界面关闭之后关机,切换到另外一个界面,关闭后关机即可。② INTEK PLUS 在界面上点击 STOP 后, 在 FILE 里点击 EXIT 退出, CTRL 两侧切换各个界面同样的方法关闭后关机。③ FORTIX 将运行界面关闭,输入密码,退出后关机。④ 将两个 UPS 电源关闭。⑤ 将主电源 main power 关闭。手动操作界面最多只能放3 个 空 花篮, 3 个满了后请务必立即将其取出FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 12 -- 12 -操作手柄手动操作指令代码的含义(数字 SET )数字代码 名称 功能解释01 LOADER M/Z FWD/BWD 1 MOTORMOVE ● 机械手 1 前后移动02 LOADER M/Z UP/DOWN 1 MOTORMOVE ● 机械手 1 上下移动03 LOADER M/Z FWD/BWD 1 SAFETY POS’ ’MOVE ● 机械手 1 前后方向安全区移动04 LOADER M/Z CLAMP 1 OPEN/CLOSE ● 机械手 1 的抓手打开与关闭(汽缸控制) .05 LOADER M/Z STOPPER 1 FWD/BWD ● 进料台 1 的花篮挡块前后移动(汽缸控制) .06 LOADER M/Z RAIL CLAMP 1OPEN/CLOSE ● 进行 5 寸 6 寸硅片生产的切换时,进料台 1 汽缸的前后移动 .07 LOADER M/Z LOADING CONVEYOR 1MOVE ● 进料台 1 的皮带转动 .08 LOADER M/Z UNLOADING CONVEYOR1 MOVE ● 出料台 1空蓝 的皮带转动 .11 LOADER M/Z FWD/BWD 2 MOTORMOVE ● 机械手 2 前后移动12 LOADER M/Z UP/DOWN 2 MOTORMOVE ● 机械手 2 上下移动13 LOADER M/Z FWD/BWD 2 SAFETY POS’ ’MOVE ● 机械手 2 前后方向安全区移动14 LOADER M/Z CLAMP 2 OPEN/CLOSE ● 机械手 2 的抓手打开与关闭(汽缸控制) .15 LOADER M/Z STOPPER 2 FWD/BWD ● 进料台 2 的花篮挡块前后移动(汽缸控制) .16 LOADER M/Z RAIL CLAMP 2OPEN/CLOSE ● 进行 5 寸 6 寸硅片生产的切换时,进料台 2 汽缸的前后移动 .17 LOADER M/Z LOADING CONVEYOR 2MOVE ● 进料台 2 的皮带转动 .18 LOADER M/Z UNLOADING CONVEYOR2 MOVE ● 出料台 2(空蓝)的皮带转动 FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 13 -- 13 -21 INLET FEEDER FWD/BWD MOTORMOVE ● 抽片模块前后移动 .22 INLET RAIL FEEDER MOTOR FWDMOVE ● 抽片皮带向前转动 .23 INLET RAIL FEEDER MOTOR FWDCONTINUE MOVE ● 抽片皮带连续转动 .24 SEMILAB RAIL FEEDER MOTOR FWDMOVE ● SEMILAB 检测区皮带向前转动 .25 SEMILAB RAIL FEEDER MOTOR FWDCONTINUE MOVE ● SEMILAB 检测区皮带连续转动 .31 SORT UP/DN 1 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 1 上下移动 .32 SORT FWD/BWD 1 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 1 的皮带向前转动 .33 SORT FWD/BWD 1 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 1 的皮带向后转动 .34 SORT UP/DN 2 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 2 上下移动 .35 SORT FWD/BWD 2 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 2 的皮带向前转动 .36 SORT FWD/BWD 2 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 2 的皮带向后转动 .37 SORT UP/DN 3 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 3 上下移动 .38 SORT FWD/BWD 3 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 3 的皮带向前转动 .39 SORT FWD/BWD 3 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 3 的皮带向后转动 .40 SORT UP/DN 4 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 4 上下移动 .41 SORT FWD/BWD 4 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 4 的皮带向前转动 .42 SORT FWD/BWD 4 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 4 的皮带向后转动 .43 SORT UP/DN 5 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 5 上下移动 .44 SORT FWD/BWD 5 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 5 的皮带向前转动 .45 SORT FWD/BWD 5 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 5 的皮带向后转动 .46 SORT UP/DN 6 MOTOR MOVE ● 硅片分选装置 6 上下移动 .47 SORT FWD/BWD 6 MOTOR FWD MOVE ● 硅片分选装置 6 的皮带向前转动 .48 SORT FWD/BWD 6 MOTOR BWD MOVE ● 硅片分选装置 6 的皮带向后转动 .49 SORTER RAIL GUIDE FWD/BWD ● 硅片分类前对正挡块前后移动(汽缸控制) .50 SORTER RAIL FEED MOVE ● 硅片分类区主皮带向前转动 .91 LOADER M/Z 1 LOADING CYCLE ● 机械手 1 从进料台抓取花篮的连续动作 .92 LOADER M/Z 1 UNLOADING CYCLE ● 从机械手 1 上将花篮退到出料台上的连续动作 .93 LOADER M/Z 2 LOADING CYCLE ● 机械手 2 从进料台抓取花篮的连续动作 .94 LOADER M/Z 2 UNLOADING CYCLE ● 从机械手 2 上将花篮退到出料台上的连续动作 .95 LOADER M/Z 1 WAFER LOADINGCYCLE ● 机械手 1 上已有花篮,从中抽片的连续动作 .96 LOADER M/Z 2 WAFER LOADINGCYCLE ● 机械手 2 上已有花篮,从中抽片的连续动作 .97 SEMILAB INSPECTION CYCLE ● SEMILAB 检测区皮带连续转动,同时模组检测 .98 WAFER SORT CYCLE ● 硅片分类区主皮带连续转动 .99 ALL MOTOR HOME● 机台上所有马达恢复到初始位置 .● 开机后重启软件机台自动跑片前必须执行所有马达复位 .分选机机械手抓篮动作顺序1、花蓝挡块气击缸前进2、机械手前后移动的电机移动到抓篮位置FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 14 -- 14 -3、机械手上下移动电机移动到抓篮等待位置4、进篮皮带向前移动5、 X206 感应到皮带上有花蓝6、机械手上下移动的电机移动到抓篮位置7、机械手上升确认片盒正反面(单晶 X208 X213 X215 全部 ON 多晶X212 X214 X215 全部 ON)8、 X206 ON 位置确认9、机械手抓篮气缸关闭抓篮10、机械手上下移动的电机到抓篮起来的位置11、花篮挡块气缸后退12、机械手抓篮成功,移动到工作区或等待区FORTIX troubleshooting总则维护机台前必须熟悉机台的结构,工作原理,遵循 FORTIX 维护手册的操作流程来进行机台问题的处理和机台的维护1. 上料部分1)当操作员不小心将花篮底朝上上料时,机械手抓取花篮,传感器感应到花篮正反面不对, MMI 会报一个‘ Loader 1/2 MZTurn over ’ 的ERROR148/152,这时操作手柄按 04( Loader 1)或 14( Loader 2)将机械手打开,小心的将花篮取出放好,依次按 Reset和 Start 继续生产。FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 15 -- 15 -2)当操作员不小心在上料的时候花篮的边相互挤压,造成皮带转动时花篮不能前进,此时应将花篮适当分开,依次按 Reset和 Start 继续生产。3)若在进料处出现机械手不能抓取花篮(进料台上有花篮的前提下) ,MMI 上报警 ‘ LOADER 1/2 M/Z MIS-LOAD ’ 147/151, 或者报警 “ LOADER1/2 MZ CLAMP OPEN/CLOSE CYLINDER TIME OVER” ( 113/116)此时检查花篮是否完全在进料台皮带上,然后用操作手柄按 04( Loader 1)或 14( Loader2)将机械手打开,将花篮放正,依次按 Reset和 Start 继续生产。4)上料前可观察花篮里是否有碎片,若有可用镊子取出。如若花篮有碎片而继续上料, 或硅片脱胶不完全造成粘片, 机械手在抓取花篮后, 抽片时,MMI 会报一个‘ LOADER 1/2 WAFER MIS-LOAD ’的 ERROR155/156, 此时机台停止运行,可用操作手柄手动按 21(抽片模块后退,使其传感器不被触发) - → 92( Loader 1)或 94( Loader 2)将花篮退到出料端,取出花篮将碎片或粘片取出,依次按 Reset和 Start 继续生产。5)出料端花篮 3 个满了之后会报警,要及时将空花篮取出;机台运行时如果不能及时上料,即机械手来抓取花篮,因没花篮而报警(但正常运行) ,在你放入花篮后应按 Reset,此时皮带会传送花篮,机械手继续工作。2. 检测部分2-1, SEMILAB 模组1)有时皮带正常运行, SEMILAB 模组却没有进行测试, MMI 报警出现ERROR THICKNESSLIFETIME DATA NOT RECEIVED , 可能是以下几个原因FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 16 -- 16 -a)模组软件没有开启或开启后 Start 按钮没有点击 ------确认软件开启并点击 Start 按钮b) Average的数值太高 ------调低 Average的值,可以调整到 8 或 4 或 2c)边缘剔除 Skip Edge值太多,导致测试时间过短 ------将 Skip Edge的值适当减小d)软件出现 DEMO------ 查看是否开启多个软件窗口,查看线路的连接是否松动,关机重启2)厚度 /电阻率 /TTV 模组每 4 小时校准一次;少子寿命模组每 4 小时用当前当批次任意一个硅片放入模组下,点击RECORDER 界面后,再点击 Autosetting 进行参数自动调整即可2-2, INTEK PLUS 模组1) INTEK PLUS 有三个检测模组( Vision 1, Vision 2, Vision 3) ,和一个HOST, 在 HOST 界面, 确定模组的连接情况及与 FORTIX handler 的连接情况,绿色表示连接正常,灰色表示检测模组未连接,应检查三个检测模组及软件是否开启, 若开启可在 HOST 界面直接点击 Vision 1 或 Vision 2 或 Vision3,出现对话框直接点击 OK 进行连接即可;红色表示 HOST 与 FORTIX 未连接,检查模组的皮带上面是否有硅片,若有及时拿掉,然后在 HOST 界面点击 Initialize 进行初始化连接即可。3. 分类部分1)每一个片盒满 100片后机台报警,请及时将硅片取出,把片盒正确的放回原位,片盒将自动复位。FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 17 -- 17 -2)硅片如果不能很好的插入片盒,可以适当调整片盒的位置。3)如果硅片在进入片盒前遮挡住传感器,机台会报警停机,须将硅片放入片盒,依次按 Reset和 Start 继续生产。4)如果硅片过多的进入最后一个片盒,请确认 SEMILAB 的检测模组是否正常, 以及打开 FORTIX MMI 界面的 SORTING DATA FILE(分类文件设定)里点击 APPLY 和 CLOSE。4. 其他1)生产过程中确保所有安全门都是关闭的2)放片和取片需正确操作,以免影响机台的运行3 机台发生报警,可以查阅 MMI 界面 ERROR 菜单里面相应的代码,其包含报警信息,发生报警部件的位置图片显示,发生报警的原因,报警错误信息的解决方法4)马达如果报警,用手柄按 ERROR 提示的进行操作,再按 Reset,马达驱动报警的话,如果此操作不能解决问题,可将机台关机,把机台的电源( MAIN POWER)关闭, 5 分钟后再开启机台的电源,重新开启 UPS 和各主机电源,则马达驱动报警会自动解除并恢复好5 机台如有某部件不能正常工作,请先检查相应的传感器或线路或马达,参照维护手册的操作流程来解决问题5. 注意与提醒FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 18 -- 18 -1)机台出现紧急情况,应立即按下紧停按钮将机台断电,以保护机台和人身安全2)机台出现故障,请务必保持冷静,不急不慌,先将机台停止下来,知悉出现故障部分的地方是怎么样的工作流程后,理清思路,按照维护手册或电气接线图一步一步排查,将问题解决。通常的问题都可以通过手柄操作进行解决,所以请您在熟悉机台结构和工作原理后按照手柄操作指令进行操作INTEK 软件操作说明INTEK PLUS 有三个检测模组 正面,隐裂,背面 ,对应有三个主机,但是三个主机共用一个显示器,可通过 KVM 转换器进行切换到各个模组检测,只需在键盘上按 Ctrl 两次后上下选择Vision 1, Vision 2 或 Vision 3。Vision 1 主界面包括 2 个软件 ,分别是 host 和 isolar_vision 如下图所示1 HOST 界面FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 19 -- 19 -2) isolar_vision 界面①②③FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 20 -- 20 -其中 HOST 软件 是人机对话界面, ISOLAR 是工艺参数设定软件。1) host 软件操作说明选 择 产品工艺开始测试手动测试开机复位马达参数设置FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 21 -- 21 -选择 Motor View 后进入界面首先选择马达,更改到认为合适的位置后,按 TEACH 后 再 SAVE马达参数调整结束选择 MANUAL INSP 后 进入以下界面手 动 调 整 马达位置参数选择马达FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 22 -- 22 -将片子放在测试皮带上,并且将所需要测试的软件 ISOLAR 1, 2, 3 打开并 start 后。 点击 START 后,可到 Isolar 软件界面下检查硅片的检测结果并分析FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 23 -- 23 -如图所示可在 setting 选项下, Inline Image save 中选择是否需要保存不合格硅片的检测图片,如选择 Reject Only ,务必定期清理图片,图片保存路径为C/intekplus/ isolar/vision/image .2 ISOLAR 软件说明检测项目VISION 1 正面油污,尺寸,崩边,缺口,线痕VSION 2隐裂VISION3 背面油污,崩边,缺口,线痕图 片 保 存 设置FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 24 -- 24 -1. Vision 1 软件介绍其中 CALIB 是模组光学校准工具TEACH 是更改软件工艺参数工具STOP 是软件开关TEST 是手动测试工具检测项目包括 chiping 崩边Broken 缺口Length 边长Edge width 倒角长Edge angle 倒角角度Stain 油污Diameter 对角线长Orthogonality 垂直度Sawmark 线痕校准参数设定开始测试FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 25 -- 25 -1) 如何更改尺寸参数设定。首先点击所需要更改的参数项, 以尺寸为例, 首先鼠标点击尺寸项 Length-----TEACH后进入如下界面1.点击 TEACH --------- 然后点击上方第 6 项 Criteria ------TEACH----- 点击 property -----后可更改工艺参数 ,选项中当前设定尺寸标准为 155.5-156.6 mm .2 参数设置保存参数更改完成后点击 QUITE 退出参数设定界面回到 ISOLAR 的主界面Propertycriteria工艺参数补偿参数设置设置参数保存FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 26 -- 26 -点击 FILE----SAVE JOB----Transfer Job to host转移工作主机 完成。2) 如何更改油污参数设定。选择 STAIN 选项后 --------- 点击 TEACH 进入如上界面 --------------TEACH -------- 点击第 4 项Blobcriteria -----------TEACH --------Property可以根据硅片参数要求以及实际生产情况调整工艺参数, 包括单个油污面积大小以及总面积大小 和数量 。 更改完成后保存步骤同上。选择第 3 项 Blob ----TEACH-----Property 后工艺参数工艺参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 27 -- 27 -可以更改油污的最小检测单位面积,此数值关系到检测的精度,设置的越小检测的精度越高 , 但同时也会由于硅片表面其他的影响造成误判。 客户可根据自己硅片的实际情况设置该参数。设置完成后保存同上选择第 2 项,可以调整 LED 光的强弱,可根据硅片生产情况作相应调整选择第 1 项,可以调整硅片表面油污检测的范围,如此范围超出硅片以外,会造成误判3) 如何更改崩边缺口参数设定选择 CHIPPING 选项后 --------- 点击 TEACH 进入如上界面 --------------TEACH -------- 点击第 6 项Blobcriteria -----------TEACH --------Property可以根据硅片参数要求以及实际生产情况调整工艺参数, 包括单个崩边尺寸大小以及面积大小和数量 。 更改完成后保存步骤同上。选择第 5 项 Blob ---------TEACH---------Property工艺参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 28 -- 28 -选择第 5 项 Blob ----TEACH-----Property 后该工艺参数为最小检测单位面积,此数值关系到检测的精度,设置的越小检测的精度越高,但同时也会由于硅片表面其他的影响造成误判。 客户可根据自己硅片的实际情况设置该参数。选择第 4 项 colorthreshold ---------TEACH -------Property 后进入如下界面工艺参数LED 参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 29 -- 29 -根据生产情况可调整 LED 光源参数,例如当出现误判时。参数更改完成后,数据保存同上。4) 如何更改 SAMARK 线痕参数选择 sawmark 选项 -------TEACH-------- 后进入如下界面该工艺参数为线痕的判断标准,数值越小,则检测越严格。根据实际生产情况作相应调整。2. VISION 2 软件说明工艺参数FORTIX 操作与维修手册FORTIX 操作与维修手册- 30 -- 30 -点击选项 1 microcrak -------TEACH----- 进入以上界面 -------- 选择第 9 项 blobcriteria ------TEACH---------Property---- 进入如下界面更改参数后保存同上。工艺参数
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