碱洗作业指导书-solarbe文库

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编号碱洗作业指导书版本 A/1 受控状态批准审核编制日期日期日期目的规范硅片碱洗操作程序 , 指导作业方法 , 提高作业效率 , 保证硅片清洗质量 . 2. 适用范围本作业指导书适用于生产计划部原材料准备车间碱洗工序 . 3. 工作职责 3.1 对 IC 级硅片、太阳能级单晶硅片、太阳能级多晶硅片进行化学腐蚀清洗 , 去除其表面杂质脏污 , 以满足后续单晶车间、多晶车间的生产需求 . 3.2 严格执行操作工艺流程 , 不断优化作业方法 , 在保障质量和提高产量的基础上 , 逐步降低硅原料的损耗及碱的用量 , 控制生产成本 , 提升营运绩效 . 4. 操作流程及作业方法 / 质量技术要求 / 设备及材料 / 安全注意事项4.1 操作流程及作业方法4.1.1 准备好待碱洗的硅片 . 4.1.2 穿戴好经检查合格的防护用具 . 4.1.3 检查纯水的质量与流量是否达到要求 . 4.1.4 检查水管、排风机、碱洗槽、超声波清洗机等是否正常 . 4.1.5 将待洗的硅片分装在纱网中 , 整齐有序地摆放在装料台上 , 每包装硅片 1～ 3Kg,散落的硅片立即捡起 . 若发现常规片料中混有非常规片料 , 需挑出单独放置 , 分开处理 4.1.6 将各级冲洗、浸泡水槽及超声清洗池内的纯水注满 . 4.1.7 启动排风机和碱雾处理塔 . 4.1.8 用 NaOH与纯 H2O在碱洗槽内配置碱洗溶液 , 液位不超过碱洗槽深的 2/3. 各种硅片所用碱洗液的配置比例如下表（重量比）硅片名称 IC 级硅片太阳能级单晶硅片 / 多晶硅片NaOH 1 1 H2O 2 3 ～ 4 4.1.9 往 HCL浸泡槽中加入适量浓度为 36 38的 HCL. 4.1.10 把装好的硅片轻轻放入碱洗槽腐蚀液中 ,不停晃动纱网，使碱液沸腾 ,让硅片反应均匀、充分 . 碱洗腐蚀时间为 8± 3 分钟 , 4.1.11 当硅片表面呈银亮色时 ,立刻取出纱网 ,放入一级冲洗池内冲洗 2± 1 分钟 ,冲洗时不断晃动纱网 ,使硅片表面碱液冲洗及时、充分 ,防止 NaOH 在硅片表面凝结 .晃动时不要让原料露出水面 ,防止硅片氧化和被空气中的浮尘玷污4.1.12 碱洗过程中，如果没有剧烈的反应现象碱液沸腾，冒出大量气泡，则按对应的比例加入碱 ,如果碱液过于浓稠 ,则加入适量的水进行稀释 . 4.1.13 每槽碱液洗料 3～ 5 包后 ,反应不充分时 ,则重新配制新碱液 . 4.1.14 一级冲洗后立即放入二级清洗池内 ,用纯水冲刷 3±1 分钟 ,同时目检硅片 , 表面有氧化、 NaOH 凝结、油污 ,明显色差的 ,则捡出后放入纱网 ,送返并通知重新处理 . 4.1.15 把目检合格的硅片冲洗后浸泡在盛有 36-38HCL浸泡槽内 ,以硅片全部浸没在 HCL中为准 .浸泡时间为 5± 1 分钟，不停晃动纱网 ,充分中和 . 4.1.16 把 HCL浸泡好的硅片放入冲水桶过水后 ,转入漂洗房内进行三级纯水冲洗 2± 1 分钟 .中间隔性地晃动纱网 . 4.1.17 把硅片放入超声清洗机清洗池内超声清洗 .清洗时间 5± 1 分钟 . 冲洗过程中间隔性地晃动纱网 . 4.1.18 超声清洗完以后 ,将硅片倒入四级清洗池垫有纱网的烘干筐内预先放入 ,浸泡约 4 分钟 .浸泡过程中 ,间隔性地搅动硅片 .4.1.19 浸泡时 ,用 PH 试纸测试水质及原料表面 ,合格后取出烘筐 ,将水沥干后送往烘干房 . 4.1.20 将烘干筐按照从上到下的顺序依次装在烘干车上 , 做好烘干记录 , 将烘干车推入烘箱 , 及时关上烘箱门 , 对硅料进行烘干 . 烘箱的温度设置为 100± 5℃ , 风机开启 , 让热风循环 , 烘干时间 10～ 12 小时 , 碎料时间略长 .4.1.21 每次操作前后都要做好现场工艺卫生，清理地面上残留的碱液、积水、碎料 . 4.2 质量技术要求4.2.1 碱洗好的硅片表面呈银亮色 ,无氧化、无碱印、无油污、无明显色差、无明显花斑、无任何杂质、无水渍 . 4.2.2 在洗料过程中 ,禁止以裸手直接与硅片接触 . 4.2.3 碱洗、冲水、浸泡时，非常规原料与常规原料不得同时放在一个槽子内 . 4.2.4 不同类型的硅片分开洗 ,做好标识 ,每洗完一种硅料 ,及时清理现场 ,避免造成原料互混 . 4.2.5 现场不得有任何不可识别的原料或者碎料残渣 . 4.2.6 超声波清洗池内的水约每 2 小时更换一次 . 4.2.7 所有冲洗过程采用纯水溢流方式 ,浸泡池的水质需保持中性状态 . 4.2.8 纯水水质≥ 18MΩ. cm,纯水流量达到约 30T/H. 4.2.9 使用的 NaOH 纯度≥ 98. 4.2.10 使用的 HCL分析纯为 36～ 38. 4.3 设备及材料4.3.1 设备碱雾处理塔、排风机 22KW、酸洗腐蚀柜、超声波清洗机、酸洗槽、冲水槽、浸泡槽、装料台 . 4.3.2 材料引水管、碱洗槽、纱网、有机面罩、防毒口罩、一次性口罩、防酸 /碱围裙、防酸 / 碱手套、乳胶手套、防酸 /碱雨靴、 NaOH、 HCL. 4.4 安全注意事项4.4.1 作业过程中 ,劳保用品一旦破损 ,立即更换 . 4.4.2 小心强碱 NaOH 对人体造成灼伤 ,若不小心碱液溅到皮肤上眼睛里 ,,立即用流动的清水冲洗 . 4.4.3 配制碱液时，动作要轻，不得野蛮操作 . 4.4.4 碱洗时 ,注意酸碱液不得外溢 ,污染环境 . 4.4.5 废空桶和袋子及时清理并按规定放置 . 4.4.6 防止烘箱、烘干车高温对人体造成烫伤 . 4.4.7 严防水进入超声波清洗机控制箱 . 附操作方法参考图片正确穿戴好防护用品装料碱洗硅片一级冲洗二级冲刷 ,目检外观 HCL 浸泡冲水桶过水三级纯水冲洗超声波清洗四级纯水浸泡沥水后送往烘干房装入烘箱烘5. 支持性记录烘干记录表 YGJY-QR-164