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资源描述:
Vendor 中联科利传输系统 高速运行机械臂,定位精度≤ 0.3mm,可靠性高。控制系统 采用“工控机 PLC多种软硬件互锁”的控制架构;工艺过程采取“条件触发 实时监测”双重控制。制绒槽温控精度 制绒槽采用大功率制冷机冷却系统 , 温度控制精度±1℃以内.补液控制精度 采用脉冲式流量计,精度≤ 2。制绒硅片尺寸 125 125mm, 156 156mm批处理量 / 产能 125硅片和 156硅片均为 200片 / 批;生产节拍多晶为 4min/ 批, 3000片 / 小时。碎片率 对硅片厚度要求不高,≤ 0.1.制绒性能制绒时间多晶, 110S~ 120s/ 批;单晶, 900~1000s/ 批均匀性片内,小于 6;片间,小于 5。水洗方式及效果 浸泡式,清洗充分。设备可利用率 90以上,设备的稳定性、可维护性表现一般.市场应用情况国内首创多晶槽式制绒,在实际应用中积累了丰富的经验,有相应的工艺技术支持,保证工艺效果,单晶设备、工艺也不断改进更新,与国外设备商相比有明显的价格优势,与国内其他设备商相比有明显的技术优势,所以市场需求不断增加。RENA Schmid滚轮,速度 0.5 ~ 1.5 m/min 可调。 滚轮,速度 0.5 ~ 2.0 m/min 可调。工控机 PLC多种软硬件互锁,显示器操作界面是基于 web的可视化设计,有安全防护措施,自动化和集成化程度高。工控机 PLC多种软硬件互锁,显示器操作界面是基于 web的可视化设计,有安全防护措施,自动化和集成化程度高。制绒槽采用变频调速泵循环系统 制冷机冷却系统,温度控制精度± 1℃.制绒槽采用变频调速泵循环系统 制冷机冷却系统,温度控制精度± 1℃.采用细孔限流计时补液方式,精度≤ 2。 未知125 125mm, 156 156mm 125 125mm, 156 156mm125硅片 3000~ 4000片 / 小时;156硅片 2500~ 3500片 / 小时125硅片 3000~ 4000片 / 小时;156硅片 2800~ 3800片 / 小时硅片厚度 180um,保证 0.5,实际小于 0.3;硅片厚度 200um,保证 0.3,实际小于 0.2. 硅片厚度 180um以上,小于 0.3.制绒时间只有多晶, 110~ 120s/ ;均匀性片内,小于 5;片间,小于 5。制绒时间只有多晶, 110~ 120s/ ;均匀性片内,小于 5;片间,小于 5。喷淋式,清洗不够充分。 喷淋式,清洗不够充分。95左右,设备的稳定性、可维护性表现良好. 95左右,设备的稳定性、可维护性表现良好.市场应用非常广泛,几乎垄断了国内多晶制绒设备的市场,曾被视为行业的标配,提供设备 工艺方案,但制绒工艺与后道工艺存在匹配欠佳问题,再加上价格高,约国内槽式的 3倍,而且备品备件价格高,维护成本高,最近几年销售有下降趋势。提供整线服务,包括设备 工艺方案,在德国有中试线,可做工艺验证 . 同样因为价格及维护成本高昂,此设备只是在欧美市场的应用非常广泛,但国内应用很少。捷佳创 备注高速运行机械臂。采用“工控机 PLC多种软硬件互锁”的控制架构;工艺过程采取“条件触发 实时监测”双重控制。大流量强循环,温度控制精度± 1℃.未知125 125mm, 156 156mm125硅片和 156硅片均为 200片 / 批;生产节拍多晶为 7.5min/ 批, 1600片 / 小时。对硅片厚度要求不高,≤ 0.1.制绒时间多晶,未知;单晶, 900~ 1000s/ 批均匀性片内,小于 6;片间,小于 5。浸泡式,清洗充分。90以上,设备的稳定性、可维护性表现一般.在单晶槽式清洗方面有较为丰富的经验,在多晶方面缺乏技术支持,市场上很少见。
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