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二手投影光刻机的翻新改造作者 郑武作者单位 上海微高精密机械工程有限公司 ,上海 ,201203刊名 电子工业专用设备英文刊名 EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING年，卷 期 2004,333本文链接 http//d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_dzgyzysb200403024.aspx
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