切换
资源分类
文档管理
收藏夹
最新动态
登陆
注册
关闭
返回
下载
相似
相似资源:
海螺 BIPV 全产业布局——从 HJT 电池-产品-EPC
以光伏为代表的新能源企业参与电力现货市场的现状及策略分析---清华四川能互研究院.pdf
千瓦光伏治沙项目环评报告.pdf
杭锦旗200MW光伏治沙项目环评报告公示.pdf
2022-2023年中国光伏产业发展路线图.pdf
【研报】硅料价格见顶光伏需求旺盛,碳酸锂价格加速下降---东吴证券.pdf
【研报】钙钛矿行业深度报告:下一代光伏电池新秀,产业化曙光初现---东吴证券.pdf
光伏储能及其充放电及其计算毕业设计.pdf
【光伏】山东能源局关于切实做好分布式光伏并网运行工作的通知.pdf
【光伏】山东省整县(市、区)屋顶分布式光伏规模化开发试点工作方案.pdf
【风光】风电、光伏发电项目并网保障实施办法(试行).pdf
太阳能光伏系统的基本构成.pdf
【研报】如何看待分布式光伏的创新与壁垒---广发证券.pdf
太阳能光伏发电部件原理及系统设计培训班——并网发电系统选型、设计、成本分析.pdf
【研报】扩张中的光伏组件新锐,上游价格回归带动盈利显著修复---国信证券.pdf
光伏发电系统计算公式大全.docx
【研报】立足全球分布式光伏,乘储能之风而起---国信证券.pdf
光伏+光热模式下项目开发要点与未来发展趋势---光伏协会&恒基能脉新能源.pdf
光伏行业2023年行业投资策略(1).pdf
2022年光伏行业报告(1).pdf
【研报】钙钛矿电池:光伏发展新方向,关注产业链动态变化---华西证券.pdf
资源描述:
硅片清洗工艺采用 RCA方法, 这是半导体行业硅片的标准清洗步骤1 配制氢氟酸溶液( 1 20,本次 100ml2000ml )2 硅片支架清洗、吹干待用3 取硅片放于支架上,按照顺序放好4 配 3#液(硫酸 H2O231,本次 660ml 220ml ) ,硫酸最后加,同时另一容器煮水5 用 3#液煮洗, 15min ,加热至 250℃,拎起支架稍凉片刻6 将支架放到热水中,冲水7 配制 1#液(氨水 H2O2 H2O= 1 1 5-117 ) ,前两者倒入热水中,加热 75~ 85℃, 时间 10~ 20min(时间不可太长, 因为氨水对硅有腐蚀作用,利用络合作用去除重金属杂质) ,取出硅片支架,放入 1#液, 15min ,取出放到热水中,冲水8 配制 2#液( HCl H2O2 H2O = 1 1 5,本次 240ml240ml1200ml )前两者倒入热水中。9 取出硅片,放入 2#液, 15min ,取出放热水中,冲水。10 10%的氢氟酸 120 ,本次 100ml2000ml 时间 5~ 10s,去除硅表面氧化层11 去离子水冲洗时间 20min
点击查看更多>>
收藏
下载该资源
京ICP备10028102号-1
电信与信息服务业务许可证:京ICP证120154号
地址:北京市大兴区亦庄经济开发区经海三路
天通泰科技金融谷 C座 16层 邮编:102600