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资源描述：
1200＃树脂金刚石砂轮背磨 IC硅片的表面质量研究作者 李克华 ， 赵延军 ， 史冬丽 ， 丁春生作者单位 郑州磨料磨具磨削研究所 郑州 450013引用本文格式 李克华 . 赵延军 . 史冬丽 . 丁春生 1200＃树脂金刚石砂轮背磨 IC硅片的表面质量研究 [会议论文]2010
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