杜邦厚膜浆料简介-solarbe文库

资源描述：

Image or color to replace gray area 杜邦厚膜浆料简介杜邦厚膜浆料简介杜邦厚膜浆料简介杜邦厚膜浆料简介微电路材料杜邦电子科技 DOCUMENT NAME 000000 Page 2 1. 电子浆料基本知识电子浆料基本知识电子浆料基本知识电子浆料基本知识 1.1 基本概念基本概念基本概念基本概念 1.2 生产流程生产流程生产流程生产流程 1.3 质量测试质量测试质量测试质量测试 1.4 其他信息其他信息其他信息其他信息 2. 印刷印刷印刷印刷 2.1 浆料浆料浆料浆料 2.2 丝网丝网丝网丝网 2.3 印刷设置印刷设置印刷设置印刷设置 3. 烧结烧结烧结烧结 3.1 烧结曲线烧结曲线烧结曲线烧结曲线 3.2 烧结气氛烧结气氛烧结气氛烧结气氛 3.3 PV浆料烧结浆料烧结浆料烧结浆料烧结主要内容主要内容主要内容主要内容 Ru Ag Ag G2 G1 Al2O3 AgC1C3 C2 Pd DOCUMENT NAME 000000 Page 3 第二部分第二部分第二部分第二部分印刷印刷印刷印刷 Screen Printing DOCUMENT NAME 000000 Page 4 I 浆料 II 丝网 III 印刷设置好的印好的印好的印好的印刷效果刷效果刷效果刷效果 DOCUMENT NAME 000000 Page 5 square4粘度粘度粘度粘度又称内摩擦，是一层液体对另一层液体作相对移动时所产生的阻力，表征浆料流动的难易程度。 2.1 电子浆料基本特性参数电子浆料基本特性参数电子浆料基本特性参数电子浆料基本特性参数 square4触变性触变性触变性触变性对于浆料表现为浆料在静止一定时间后变稠，粘度增大，搅动后又变稀，粘度也变小的一种现象。因此，在印刷之前，要充分搅拌浆料充分搅拌浆料充分搅拌浆料充分搅拌浆料，使之恢复常态，然后才能进行印刷。 square4可塑性可塑性可塑性可塑性指浆料受到外力作用变形之后，能完全或者部分保持其变形的性质。 square4固体含量固体含量固体含量固体含量通常情况下，固体含量升高，浆料的粘度和可塑性都会升高。 square4干燥特性干燥特性干燥特性干燥特性丝网印刷既要求浆料在网板上能够较长时间保持不干燥结膜，又要求在印刷后，在基板上干燥越快越好。 DOCUMENT NAME 000000 Page 6 2.2 丝网丝网丝网丝网丝网尺寸丝网尺寸丝网目数丝网目数网丝材料网丝材料网丝厚度网丝厚度开孔率开孔率乳胶材料乳胶材料乳胶厚度乳胶厚度图形的分辨率图形的分辨率网的平整度网的平整度丝网张力丝网张力 DOCUMENT NAME 000000 Page 7 2.3 印刷设置印刷设置印刷设置印刷设置刮刀行程刮刀行程刮刀与网的夹角刮刀与网的夹角丝网与基片间的距离丝网与基片间的距离下冲限位下冲限位平行度平行度刮刀硬度刮刀硬度刮刀压力刮刀压力刮刀速度刮刀速度 DOCUMENT NAME 000000 Page 8 第三部分第三部分第三部分第三部分烧结烧结烧结烧结 Sintering DOCUMENT NAME 000000 Page 9 烧结是实现浆料功能烧结是实现浆料功能烧结是实现浆料功能烧结是实现浆料功能十分重要的制程十分重要的制程十分重要的制程十分重要的制程关键点温度曲线烧结气氛 DOCUMENT NAME 000000 Page 10 烧结过程中发生的事情烧结过程中发生的事情烧结过程中发生的事情烧结过程中发生的事情推荐曲线推荐曲线推荐曲线推荐曲线 850oC/30 分钟分钟分钟分钟 – 最典型的厚膜导体烧结最典型的厚膜导体烧结最典型的厚膜导体烧结最典型的厚膜导体烧结 DOCUMENT NAME 000000 Page 11 炉膛内气流原理图炉膛内气流原理图炉膛内气流原理图炉膛内气流原理图烧结气氛关键点烧结气氛关键点烧结气氛关键点烧结气氛关键点气流量气流量气流量气流量气流平衡气流平衡气流平衡气流平衡空气质量空气质量空气质量空气质量 DOCUMENT NAME 000000 Page 12 空气质量空气质量空气质量空气质量空气抽取选洁净空气区空压机无油空气压缩机过滤器第一次，空气吸入腔后 ,除去大颗粒杂质第二次，无热干燥器前 ,除去 1-5um杂质第三次，无热干燥器后 ,除去 577 ℃ Melt 680 ℃ High Temperature Melt I II III 577 ℃ Re-solidified p/p junction Al doped Si IV 铝一硅合金最低共熔点温度为 577℃ 产生背表面电场产生背表面电场产生背表面电场产生背表面电场在冷却阶段通过区域熔炼效应在冷却阶段通过区域熔炼效应在冷却阶段通过区域熔炼效应在冷却阶段通过区域熔炼效应，，，，提高硅纯度提高硅纯度提高硅纯度提高硅纯度不可焊接不可焊接不可焊接不可焊接，，，，因此需要银或者银因此需要银或者银因此需要银或者银因此需要银或者银 /铝浆配合铝浆配合铝浆配合铝浆配合需要与正面银导体实现共烧需要与正面银导体实现共烧需要与正面银导体实现共烧需要与正面银导体实现共烧大面积印刷大面积印刷大面积印刷大面积印刷、、、、烧结烧结烧结烧结，，，，可能产生烧结变形可能产生烧结变形可能产生烧结变形可能产生烧结变形 DOCUMENT NAME 000000 Page 18 PV浆料烧结浆料烧结浆料烧结浆料烧结 -烧结曲线烧结曲线烧结曲线烧结曲线 Firing Profile PV furnace 580-610-650-770-800-870deg.-220inch/min 300-500度度度度, , 有机树脂分有机树脂分有机树脂分有机树脂分解排出解排出解排出解排出，，，，需要氧气需要氧气需要氧气需要氧气 400度以上度以上度以上度以上 ,玻璃软化玻璃软化玻璃软化玻璃软化 600度以上度以上度以上度以上 ,玻璃与减玻璃与减玻璃与减玻璃与减反层反应反层反应反层反应反层反应 ,实现导电实现导电实现导电实现导电室温室温室温室温～～～～300300度度度度，，，，溶剂挥发溶剂挥发溶剂挥发溶剂挥发