HAC 太阳电池生产技术研发— 光伏研究院2019进展（南昌大学光伏黄海宾副教授）-solarbe文库

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HAC太阳电池生产技术研发 --光伏研究院 2019进展报告人黄海宾南昌大学光伏研究院 2019-12-07 ➢热丝 CVD装备国产化及改进探索 ➢电池片光（电）热处理改性的机理分析 ➢光伏研究院研发平台建设概况热丝 CVD装备国产化及改进探索 ➢ HWCVD Vs. PECVD HW-CVD PE-CVD 膜层氢含量高低等离子轰击无有镀膜速度快慢均匀性略差好绕镀不明显严重气体用量少多耗材更换热丝要定期更换腔体要清洗热丝 CVD装备国产化及改进探索 ➢ HWCVD Vs. PECVD HW-CVD PE-CVD 膜层氢含量高低等离子轰击无有镀膜速度快慢均匀性略差好绕镀不明显严重气体用量少多耗材更换热丝要定期更换腔体要清洗热丝 CVD装备国产化及改进探索 ➢一次 8片； ➢可实现 in、 ip、双面 TCO的不破真空连续镀膜 ➢ 自行设计、国内公司生产（帕萨电子装备公司）热丝 CVD装备国产化及改进探索 ➢热丝加工 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 0 1000 2000 3000 4000 5000 6000 NCU1 NCU2 Re fer ence Li feti me/ us S amp l e ✓ 新热丝做的本征非晶硅的钝化效果明显优于对比热丝。 ➢ a-SiOxH 制备过程中的热丝氧化问题可通过工艺参数的调节解决热丝 CVD装备国产化及改进探索原始表面氧化损坏的表面抑制氧化的表面 Yuping He, 等 . Materials Science in Semiconductor Processing. 2017, 611-4 ➢镀膜热处理温度协同作用热丝 CVD装备国产化及改进探索 0 50 100 150 200 250 0 500 1000 1500 2000 2500 E f f e c t iv e li f e t ime /  s a s d e p o s it e d p o s t a n n e a li n g 2 7 5 ℃ D e p o s it e d t e mp e r a t u r e / ℃ 何玉平，黄海宾，等， 10thCSPV, 2014 ✓ 仅衬底加热， 220℃ 较优 ✓ 衬底温度 100℃ 、 275℃ 热处理最优 ➢镀膜热处理温度协同作用热丝 CVD装备国产化及改进探索 ➢ 适当降低基片温度，镀膜后热处理获得较好少子寿命值。黑色热处理前红色热处理后 ➢IN、 IP两面连续镀（片子不接触大气）热丝 CVD装备国产化及改进探索 ✓ 不破 IN、 IP连续镀膜 ✓ 破 IN镀膜后退出真空腔体外，停留 40min。 ✓ 连续镀明显优 ➢小结热丝 CVD装备国产化及改进探索 ✓ 热丝可以在国内解决； ✓ IN、 IP连续镀膜不破真空的设计可行； ✓ 镀膜温度与后处理加热的工艺协同调控，钝化效果更优。电池片光（电）热处理改性的机理分析 ✓ 光热直接作用于化学键 SiHx。。。 Why 薄膜中各 SiH组态键能与太阳光对比短波、单波长光源光只作用于单面电池片光（电）热处理改性的机理分析 ✓ 光热直接作用于化学键 SiHx。。。 Why 短波、单波长光源电池片光（电）热处理改性的机理分析 ✓ 正面光照性能提升，有效果； ✓ 反面光照性能提升，有效果； ✓ 正面反面光照性能提升，但没有更高； Why 电池片光（电）热处理改性的机理分析 ✓猜测光 -------光生载流子 ------电（电池片内部的复合电流）电流 or 电势诱导 SiHx等发生变化。。 Why ⚫敬请期待。。。。。光伏研究院研发平台建设概况 ✓ 南昌大学“新材料技术”一流学科建设“光伏新材料”承担单位 ✓ 重点研发方向高效晶体硅太阳电池技术 ✓ 新建设 1000平（万级千级）太阳电池研发实验室多腔体热丝 CVD-PVD （立式） In-line热丝、线性离子源、溅射（卧式） PECVD （卧式）真空高温炉清洗制绒机纯水机深能级瞬态谱稳态 IV（ 5、 6BB） EQE/IQE FTIR 激光共聚焦显微镜 SEM WT-2000 光谱型椭偏仪霍尔效应测试仪、四探针、 WCT-120/Suns-Voc、分光光度计欢迎各位专家、朋友们莅临本院参观交流诚邀加盟立志于本领域技术开发的研究人员（研究员、博士后）联系人黄海宾， TEL. 13576906107； E-mail haibinhuangncu.edu.cn