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技术总结 在保证正面硼扩散方阻不变的情况下,采用低表面浓度深结工艺,仿真模拟结果显示,能够实现开路电压的有效提升,电池转换效率也能够实现明显提升。 以仿真模拟为基础进行实验设计,并进行N型双面电池的实验验证。优化后的低表面浓度的深结扩散工艺可增加短波区蓝光响应、降低发射极缺陷密度和减小复合速率;可改善其与栅线的接触、降低Voc损耗。采用优化后的硼扩散工艺,Voc,Jsc和Eff得到了明显提升。
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