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In t his paper , t he recent research p ro gress of t he p rep2Abstract Nanocrystalline silico n film is a new f unctio nal material , which has bot h t he advantages of c2Si[ 15 ] SU KTI H , SWA TI R. Nanocrystalline silico n as in2Research progress in preparation techniques of high quality nanocrystalline sil icon thin f ilm at lo w temperature and its application to thin f ilm solar cellsC H EN Cheng2zhao 1 , Q IU Sheng2hua 1 , L IU Cui2qing1 , WU Yan2dan1 , L I Ping1 , YU Chu2ying2 , Lin Xuan2ying1 ,2 1 . De pt. of Physics an d En gi neeri n g , H ans han N orm al U ni versit y , Chaoz hou 521041 , Chi na;2 . De pt. of Physics , S hantou U ni versit y , S hantou 515063 , Chi na[ 17 ] 寮犵兢鑺�, 鏈 編鑺�, 鍒ˆ赴鐝�,ø�. Œ 晥 �n2nc2Si H/ p2c2 Si 寮 璐�„ 澶 鐢 姹� � � � � � �[ J ]. 鍗 浣 瀛 � � � � �, 2007 , 28 1 96.浣撶 � c2Si 寮æ¿„ 崇數姹犵 板€兼ā鎷熷º鏋�[J ] . 鐗╃悊 瀛 姤 , 2003 ,52 1 2172224.3 23226.鍙¯˘澶 ˚數姹� [J ] . 鐗╃悊瀛 姤 , 2005 ,54 7 3327.H p2i2n 澶 鐢垫睜  [J ] . ⁄崡甯堣寖澶у瀛 姤 , 2003 , 231鏈 枃鐢眑 iujunxia80600璐＄尞pdf鏂囨。鍙 兘鍦╓ AP绔 祻瑙堜綋楠屼笉浣炽€傚缓璁 偍浼樺厛閫夋嫨  TXT锛屾垨涓嬭浇婧愭枃浠跺埌鏈 満鏌ョ湅銆�绗 鍗� �4鏈 绗� �2008骞�2鏈�鏉 鏂 鐮 绌 涓 搴 鐢� � � � � � �MA TERIAL S R ESEA RC H AND A PPL ICA TIONVo1. 2 ,No . 4 Dec . 2 0 0 8鏂囩珷缂栧彿 167329981 2008 0420450205闄堝煄閽 � , 閭辫儨妗 � , 鍒樼繝闈 � , 鍚寸嚂涓 � , 鏉�1 , 浣欐 杩 � � , 鏋楃拠鑻 � ,2 骞� 1. 闊╁北甯堣寖瀛﹂櫌鐗╃悊涓庣數瀛愬伐绋嬬郴 , 骞夸笢 娼 窞  521041 ; 2. 姹曞ご澶у鐗╃悊绯�, 骞夸笢 姹曞ご 515063鎽� 绾崇背鏅剁 钖勮啘鏄泦鏅朵綋 鏂 闈 涓€浣� �, 鍙骞 搴 兘鐢 姹 ¡¢£ � � � , 鍙⁄¥ 屾ƒ§currency1 钖勮啘鏅朵綋§＄ “數«‹›fifl –†‡· ¶‚ 鏂�. 鏈 枃„”»浣‰鍒跺�浼 ¿绾崇背 鏅剁�钖勮啘 €鏈 鐮 ´杩ˆ˜鍙¯˘鍦˙ ¨�澶 ˚數姹¸ fi˝˛鐢�  . ˇ � 绾崇背鏅剁 钖勮啘�; 澶 ˚數姹� ; 浣‰鍒跺 � ; 杩ˆ˜ 涓 鍒 鍙� TM914. 4 鏂囩尞 鐮� Aa2Si H 涓€–Æ 绾崇背„ ª � . 鐢 鏈ŁØŒ樼鐢º � 10 - 3 �0 - 1 - 1 - 1 , cm æ �, Œ樺¥ €�, Œ樺¥鍚ı 绯 łøœ ß “數鐗 € ц€ 瀛 湳鐣 嶈 � � . 绾崇背鏅剁 钖勮啘鍚屾椂 峰 æ Œ 鐢� � �º 杩欎袱–嶅 兘鐢垫睜绐楀彛鏉愭枡鎵€闇€fifl ß€ ц¿ , 板凡鎴愪负鐮 ´鎺㈢储fi勭儹闂ㄧ撼绫 滄 鏂�[1 ]鍒跺 钖勮啘澶 ˚數姹犲 � � , 鍦¢彂 œ簩鏋佺 , ¡¢£ , х┛ 屾ƒ§�, 钖勮啘鏅朵綋§′互鍙¯崟鐢º瓙鏅朵綋§＄ “數 «‹›鏂归潰涔熸湁娼 搴 [2 ]1 浣‰鍒跺 绾崇背鏅剁 钖勮啘fi勬妧鏈� � �涓轰簡鍒跺 閫傜 庝互 荤拑涓鸿‖搴曠澶 ˚數姹犵 � 绾崇背鏅剁 钖勮啘 � , 杩⁄勾鏉ュ彂灞曚簡浣‰ 450 鈩 鍒惰啘 €鏈� �. 鎸夋垚 滆繃绋 彲鍒嗕负涓ゅぇ绫� 涓€绫 槸堝埗澶囬潪鏅 鎬佹 鏂� �,鍐嶅浐鐩ı 鍖栦负绾崇背鏅剁 � ; 鍙︿ 绫 槸鐩存帴鍦ㄧ幓 鐠冭‖搴曚娌“Н绾崇背鏅剁 钖勮啘� [ 2 ] .1. 1 鍥虹浉鏅跺 娉�fi勬‰搴︿綆 庡˘鐔旇瀺鍚庣粨鏅剁娓╁害 . 浣庨€¸环澶 ˚數鏀剁 鏃ユ湡 � 2008209211 3 鍩洪噾椤圭洰 闊╁北甯堣寖瀛﹂櫌闈掑勾– 爺鍩洪噾 ˝姪椤圭洰 0503 浣滆€呯畝浠� 闄堝煄閽�1975 鈥�,鐢�,骞夸笢娼 窞 � ,璁插笀 , 曞＋ .绾崇背鏅剁 � nc2Si H 钖勮啘灏辨槸 呯绾崇背鏅剁矑闀�. 闄 �.鍥虹浉鏅跺 SPC 娉曠鐗圭 鏄 潪鏅跺浐浣 彂鐢熸 鍖�浼 ¿绾崇背鏅剁 钖勮啘fifl綆娓╁埗澶囨妧鏈 鍦¢ 兘鐢垫睜涓 搴 杩ˆ˜ � � 3ø 兘灞 鍥虹浉鏅跺 娉�.1. 1. 1 甯 Œ ‰ €€ � �姹犵绾崇背鏅惰 �,涓€ 互 œ环fi勭幓鐠   ,浠ョ 负 熸 鏂� � �,鐢�P ECVD 娉 –�a2Si H 钖勮啘 , 跺 鍐Æ � 鏂 浣 ˘ 涓虹撼绫  �. 杩 鏂 fifl 槸 埗澶 ぇ闈㈢� Нfi勮 �, 鍙 浣†¡ 鏉� ,鎴愭¢浣�,£⁄¥§€鍗�,鏄ƒ 鎵归§鐢currency1 . 甯 fi“«娓╃‹ 閫€ � �, ⁄› fi 鏅跺  , fl € 儹閫€ �, 鍖–†鐔‡ 鍐Æ粨鏅 ユ·娉 槸鍦 ¶ ‚„ ”潪鏅剁 钖勮啘鏀» Ł‰ 鍐 � �€€ �,浣 ˘鐢¿潪鏅 €´鍙ˆ负绾崇背鏅 €˜ 3 ] . 闈 鍖¯˘fi˙¨ 槸鏅剁浉鐩˚ 庨潪鏅剁浉¸ 綆fi� Gibbs ˝ � . 鍥虹浉鏅跺 杩囩˛涓ˇ 鐢辨 垚鍙 �澶т袱 ュ 鎴�. 鐢 閫 娓╁害fi˝ �,鎵€浠ョ撼 绫 ¨鏅剁矑灏– 鍙 ‰搴 fiÆ 堝ぇ  . 鏅剁 钖 ¨鏅剁矑灏–ª闄ゅ 娓╁害fi˝ 嶅� � �, 涓庡 潪鏅剁 fi勭粨鏋勭 鍐ŁØ鏈 鍒囩 崇郴 � � . 鏈“爺绌惰€ Œ鐢�“ ¢º鎺 鏉�“ 鏉ュ 澶� ф 掑 �, 鍗 鍩– 涓 – 袱灞æ啘  , 涓 灞æ 鎺 � , 浣 负鎴愭 灞�, 涓¯ı涓†¡鏉�, 浣 负鏅朵綋 鐢 灞�,閫€ 鍙 Ø澶  х鏅剁矑 [ 4 ] .1. 1. 2 ⁄› fi 鏅跺 ⁄› fi 鏅跺 灏辨槸鍦ł潪鏅剁�钖勮啘涓”ø涓€灞œ噾灞�绗 鍗� �4鏈 绗� �闄堝煄閽�,ø� 浼 ¿绾崇背鏅剁 钖勮啘fifl綆娓╁埗澶囨妧鏈 跺 澶 ˚數姹¸ßfi�˝˛鐢˙ 灞�451 滄垨鍦łø鏈 噾灞 啘fi˝ 鐗 鍐 ø涓€灞œ潪鏅剁 � �, 浣 闈 呬笌 ⁄›鎺⁄�Е , 杩欐牱鍙 ぇ澶 ч檷浣庨潪鏅剁 fi勬 鍖 娓╁害 � � 300 鈩 £﹀彸灏辫兘鍙 敓鏅跺 � ,缂╃煭鏅跺 鏃堕棿 . 鍙 浣滆 肩 ⁄›鏈� �Al ,A u ,Ni , Pt , Ti ,Cr , Pd ø�, 涓嶅悓 fi“噾灞 兼 鍖栨晥鏋¨暐鏈œ笉鍚� . 鐢 Al fi˝惈 忎赴 浠锋牸渚 疁 � ,鍥犳 閾濊 兼 鍖栧 鍙楅潚鐫怺 � 5 ] . х敓浣‰鏅跺 fi˝ 鍥�,姣旇Ø涓€ 寸瑙ｉ噴鏄� 鍦�a2Si H 涓�Al fi勭晫闈 � , 鐢 Al 鎵╂暎鍒伴潪鏅剁 涓� �, 垚 嗛棿 瀛�, 浣�Si 鈥擲i 环閿´鍙ˆ负  Si 鈥�Al ⁄›閿�, 鏋佸ぇ鍦伴檷浣庝簡婵€鍙戣兘 . 鐣岄潰澶勭杩欎簺 鍖¯墿¨犻€currency1簡 � Al 鍜�Si 熷瓙fi勭浉 掓墿 �, ”嚧 �Al 鈥�Si 娣峰悎灞傜 垚 . 鐢�Al2Si 鐩˚ 鍙 煡  , 浣‰涓� 300 鈩�, 呭 閾濅ßfi˝浐婧跺害鍑¸箮鍙 互fl˚暐 , 鍥犳 閾濅ßfi�瓒 ケ鍜 �浠ユ fi˝舰寮忓  a2Si H 鍜�Al fi勭晫闈 瀽鍑�. 杩欎簺鍥轰綋娌夋穩鐗╅€愭笎闀 ぇ , 鏈€鍚庡舰鎴愪簡鏅朵綋 呭 閾 fi勬贩鍚堢墿 � . 涓庝紶„ 鍥虹浉鏅跺 €鏈 浉姣� , ユ妧鏈 兘澶�澶 ч檷浣庨€€ ‰搴� ,缂╃煭閫€ 椂闂� ,鍒跺 鍑�鸿Ø澶ф 掔 绾崇背鏅剁 钖勮啘 � [ 6 ] . 惰€�,鏈“爺绌跺彂 板埄鐢˙ €鏈 埗澶�fi勭 撼绫 細寮曞澶ч§fi“噾灞炲 瀛�, 鍦¢緢澶х▼ 搴︿ 鐮村潖 钖勮啘fi勭數鐗 �€�. 杩欐槸涓€涓 笉澶 鏄撹  В 鍐崇闂 �  .1. 1. 3 fl € 儹閫€ �fi勬縺 夋潫棰 , 鍙楀¥娆℃ł浠ュ 婵€ Ł兘 忓 搴 戒細 fiÆ闈 ¨„ 鐘跺喌 . 鍙﹀ � ,婵€ 夋潫fi˝舰鐘跺 鎵 弿鏂瑰悜涔currency1細 fiÆ鏅跺 杩囩˛涓 掔鐢 鏂瑰悜 [ 829 ] . 炵幇澶ч潰– 埗澶囩  .1. 2 鐩存帴娌“Н绾崇背鏅剁 钖勮啘 � 1. 2. 1 笣鍖栧 浉娌“  Н娉�ユ妧鏈 缂虹 鏄 澶囨槀璐�  , £⁄¥fi“噸澶†€цØ£�, 句互囩 鍥虹浉鏅跺 娉曞埗澶囩撼绫 �, 鐢 闇€ �娌“Н闈 �,鍐嶈´鍖栦负绾崇背鏅剁 钖勮啘 � ,鎵€闇€鏃堕棿 ¸冮 . 濡 灉娌“Н闈 � 嗕笉鍦¢悓涓€绯荤粺 涓� ,鍒 Щ闈 ¨杩囩˛涓�, 槗閫犳垚钖勮啘fi � у ,鐢熸垚 SiO2 ,鎴栧 ュ˘ 冩 璐�, 硅 ¨鎬ц兘 鐢currency1笉ß� fiÆ . 杩⁄嚑骞存潵 ,璁˚ – 爺£ヤ 鑰 兘鍦 帰绱 涓Æ粡閫€ � � �,鐩存帴鍦¢悓涓€绯荤粺涓 埗澶囩撼绫 ¨ 鏂版妧 鏈� , 杩 € 鏈 鍖 鎷� � � � � 涓 鍖 瀛 鐩 娌� � � � � � �–� H WCVD ,Œ樺帇 rf2P ECVD 鍜岄Œ鐢 ‡ 旀簮ø�. 撶 锋垨 跺畠婧愭皵浣撻€氳繃瑁�呭 闄勮繎  , 娓╁害 Œ 揪 2000 鈩 fi“挩涓濇椂 � , 婧愭皵浣撶鍒 瓙閿 彂鐢熸 瑁� , 垚鍚勭 涓€� у 鍥�,鍦˙‖搴曚 娌“Н鎴 撼绫 �. 娌“Н鏃惰‖搴曠娓╁害绾�175 �00 鈩 鍙 œ环fi勭幓鐠 浣滆‖搴 � � 10 ] . 鐢�HWCVD 娉曞埗澶囩绾崇背鏅剁 钖�勮啘fi 鏅剁矑灏–ª绾� �0. 3 �. 0 m , 锋湁鏌 „ ª ,鎷 鍙栧悜 � 110 鏅堕潰 ,鍙 ˛鐢‹ œ 鎵 £浠� . 鐢 閽‹笣fi勬‰ 搴﹀緢Œ�, 归 鍒 澶囩鑰 儹 佹ı¸冮«  .鑰屼 鏅剁矑灏– ¸  ,涓 €傚疁澶ч潰– 鍖€钖勮啘fi˝埗澶� ,鎵€浠ュ˛鐢˙寖鍥 鍙楀�埌¸ ぇ闄愬埗 .1. 2. 2 Œ樺帇Œ 绋€ � �P ECVD 娉�fl € 儹澶勭悊 €鏈� R TP 鏄 繎骞存潵鍙⁄˜ 堝 fi˝ 綋£⁄¥鏂版妧鏈� . fl€ 儹閫€ › 庡 閫 儹澶勭悊fi勮寖 鐣�  ,鏄 –†‡fi“€€ ·寮�  , 簮鏄 閽ㄧ . 涓庝紶 „ 閫€ ‹鐩ı  , ユ·娉 湁 堝 浼樼 � , 闄‚簡鐢 椂 �, 鑰楃儹灏�, ч§澶�, 杩囩˛鏄 澶�, 鏅
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