CIGS薄膜太阳能电池工艺流程.pdf-solarbe文库

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序号设备名称数量（套）工艺步骤作用1 基板玻璃上料机 2 将玻璃从卡架中取出放到指定位置作为基板玻璃2 璃清洗机1 2 中压高温 DI水冲淋、滚刷和烘干清洗掉玻璃间隔树脂粉末以及玻璃在生产加工、传输、搬运和储存过程中产生的颗粒残渣、污染印痕3 Sputter 1 通过 DC Sputter 将钼金属均匀地溅射到玻璃基板上，通过测试表面电阻的动作检测质量，控制溅射。金属薄膜层 Mo在 CIGS薄膜太阳能电池中起金属背电极作用4 P1激光划线机 1 P1采用激光划刻 Mo层，激光为 532nm波长的绿光金属 Mo膜层作为电池背电极需要被划刻为多个小单元，提高电池性能5 清洗机2 1 滚刷、中压水冲淋和风刀高温烘干清洗掉玻璃表面由于 P1划刻后留有的金属 Mo颗粒残渣以及 P1划刻线凹槽内残留的金属 Mo颗粒6 检测设备 1 探针通过弹簧式多级接触方式检测主要对划线不完整的、划线瑕疵的、以及划线宽度和距离，并检测是否有短路现象7 PECVD蒸镀机 3 采用铜，铟，镓的线性蒸发源在硒的环境中沉积形成 CIGS电池吸收层。在真空腔室内需要通过在线的 X射线荧光光谱分析仪来监控 CIGS膜层成分，根据检测结果调整沉蒸镀电池吸收层（ CIGS8 化学水浴设备 4 当化学浴中的溶液（ Cd呈离子状态）漫过 CIGS膜层表面时，玻璃基板被开始加热，同时玻璃做三维震荡，以利于 CdS膜层的均匀沉积 Cds的作用主要是保护 CIGS膜层免受 ZnO薄膜高能量溅镀时界面受到创伤9 清洗机3 1 中高压 DI水喷淋、滚刷（毛刷不接触玻璃镀膜面）、风刀高温烘干. 清洗掉化学浴后玻璃表面残留的化学药品10 Sputter 1 采用脉冲直流将 ZnO旋转陶瓷靶溅镀到玻璃基板上薄膜 i-ZnO 纯 ZnO本征层镀在 CIGS/CdS异质结上的一层缓冲层，一般厚度为 50nm，可有效提高电池组件整体效率，同时起到前电极 AZO层与 CIGS/CdS异质结层之间良好的紧密衔接11 P2机械划线机 1 机械划刻方式 CIGS/CdS/i-ZnO膜层作为电池的光吸收层，需要在被划刻为多个小单元12 Sputter 1 采用直流将 AZO旋转陶瓷靶溅镀到玻璃基板上薄膜 ZnOAl（ AZO）层在 CIGS薄膜太阳能电池中起金属氧化物前电极作用13 P3机械划线机 1 采用激光划刻 ZnOAl金属氧化物膜层，激光为 532nm波长的绿光 ZnOAl金属氧化物膜层作为电池背电极需要被划刻为多个小单元14 清边机 2 去除玻璃板四边从 Mo层至 AZO层的所有膜层清边可以将电池有效区域与玻璃边缘分开 , 保证电池板良好的边缘绝缘效果，同时防止封装膜浸水后漏电流的产生。15 低照度检测机构 1 在低照度下检测所有子电池的开路电压用于判断是否存在并联电阻16 激光钻孔机 1 激光钻孔孔洞为汇流条与接线盒之间连接所需的穿插孔17 清洗机4 1 滚刷、中压水冲淋和风刀高温烘干去除清边后残留的金属膜和玻璃渣18 导线连接 1 铜带分别粘贴在 CIGS电池板的两侧正负极电池上在于将 CIGS薄膜电池板产生的电流引出至接线盒正19 前玻璃上料机 2 将玻璃从卡架中取出放到指定位置增加电池强度20 清洗机5 1 中压高温 DI水冲淋、滚刷和烘干清洗掉玻璃间隔树脂粉末以及玻璃在生产加工、传输、搬运和储存过程中产生的颗粒残渣、污染印痕21 合片机 1 将超白玻璃准确的放置基板上超白玻璃放置在电池基板上，层压后增加组件的强22 层压机 1 将已叠层好的电池组件传送到层压机中，然后将组件密闭，抽真空施加压力的同时加热使夹层中的 PVB胶层熔合，将前电池基板与背玻璃板紧紧的粘贴在一起对已进行完前段工程的电池片进行封装工作23 接线盒组装 1 将接线盒粘接在超白玻璃上，并将接线盒与汇流导电条焊接起来用接线盒将电池组件连接起来60MW CIGS薄膜太阳能电池生产工艺