无机碱刻蚀制备无氮PERC高效率太阳电池的研究-张震华-solarbe文库

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绍兴拓邦电子科技有限公司技术创新客户合作拓邦科技版权所有张震华博士 14th CSPV 西安 2018-11-09 绍兴拓邦电子科技有限公司拓邦科技版权所有 2 背景介绍碱刻蚀工艺介绍碱刻蚀工艺结果绍兴拓邦电子科技有限公司降本提效是光伏发展的始终主旋律拓邦科技版权所有 3 革命性变化 HJT/IBC 23 效率增长造价降低过去标准工艺 18 – 19 革新性发展 PERC/MWT/TOPCon 19 – 23 表面优化界面优化结构优化全新的电池结构设计全新的生产工艺流程全新的电池材料表面 /界面控制越来越精细材料纯度要求越来越高工艺结果要求越来越挑剔成本控制越来越严生产规模越来越大管理要求越来越高绍兴拓邦电子科技有限公司 PERC电池背表面工艺要求  背钝化镀膜  技术多样性 PECVD-AlOx、 ALD-AlOx、 PECVD-SiNOx  工艺要求高膜层厚度薄，均匀性好  背面金属化  激光开槽均匀性  金属电极制备质量  技术发展趋势要求  微晶硅（ Poly-Si/不定型硅 a-Si镀膜拓邦科技版权所有 4 背表面无复杂微细结构背表面高平整度 /可控大尺寸结构绍兴拓邦电子科技有限公司 PERC电池成本控制拓邦科技版权所有 5  废水总氮中硝酸盐氮、亚硝酸盐处理成本高  刻蚀段所用硝酸是硝酸盐氮的主要来源  总氮处理成本超过 1200万元 /GW年  环保法规越来越严，地方准入问题 6分 /wfr 绍兴拓邦电子科技有限公司拓邦科技版权所有 6 制绒扩散刻蚀 /抛光退火 PECVD镀膜丝网印刷背面刻蚀碱洗去正面 PSG 水洗链式链式链式链式 HNO3， HF HFKOH 传统方案拓邦方案大量使用硝酸，废水处理成本高，化学品成本高常规 PERC酸抛反射率低，电池效率有限双面 PERC背面结构不可控，双面率低无氮工艺硝酸 Free,HF降低），化学品成本低反射率高 10，电池转化效率提升 0.15；双面 PERC背面结构可优化，双面率超过 80 槽式去背面 PSG 碱刻蚀后清洗去正面 PSG 链式槽式槽式 HF KOH, 添加剂 HF PERC电池无氮高效刻蚀解决方案 Standalone equipment 绍兴拓邦电子科技有限公司拓邦科技版权所有 7 碱刻蚀添加剂保护正面 PSG不被 OH-刻蚀碱刻蚀添加剂加速抛光HF去除背面及侧边 PSG 碱刻蚀化学品添加剂无机碱链式酸环境化学品 HF 槽式碱环境化学品无机碱碱刻蚀添加剂绍兴拓邦电子科技有限公司碱刻蚀工艺要求  背面平整度要求效率增益体现  工艺适用范围 PERC及 PERC电池工艺兼容性  工艺稳定性工艺寿命、良率  设备成熟度投资风险控制、引入成本  工艺成本化学品成本、废水处理成本拓邦科技版权所有 8 绍兴拓邦电子科技有限公司碱刻蚀工艺表面处理效果拓邦科技版权所有 9 碱刻蚀表面更平整，没有表面微细结构镀膜均匀性更好表面积更小更优异的钝化效果更大的未来潜力碱刻蚀酸刻蚀碱刻蚀酸刻蚀绍兴拓邦电子科技有限公司拓邦科技版权所有 10  碱刻蚀减重 0.25g，相比于 HF/HNO3酸刻蚀，效率增益超过 0.15  效率增益同时体现在电流与电压的提升上  碱刻蚀与电池正面 SE技术完全兼容  配合产线后道工艺的匹配与优化，碱刻蚀产线效率还在稳定提升之中常规 PERC Eta Voc Isc FF Rsh Rs 酸刻蚀 21.64 0.672 9.715 81.05 514.32 1.66 碱刻蚀 21.86 0.676 9.762 80.98 865.28 1.82 碱刻蚀工艺的技术兼容性 PERCSE Eta Voc Isc FF Rsh Rs 酸刻蚀 21.95 0.680 9.891 79.81 274.35 1.89 碱刻蚀 22.10 0.685 9.902 79.68 228.55 1.77 PERCMWT Eta Voc Isc FF Rsh Rs 酸刻蚀 22.10 0.6614 10.190 79.98 638.88 79.98 碱刻蚀 22.28 0.6630 10.191 80.49 646.96 80.49 绍兴拓邦电子科技有限公司碱刻蚀工艺量产稳定性拓邦科技版权所有 11 目前量产寿命已超过 160批还在持续增加  槽式碱刻蚀杜绝了皮带印 /滚轮印造成的 EL不良  硅片减重还有进一步下调空间，降低碎片率  国内已实现碱刻蚀量产产能 1.5GW 绍兴拓邦电子科技有限公司碱刻蚀设备需求  碱刻蚀设备组成  链式去背面 PSG设备  自动化机械臂（可选）  槽式碱刻蚀设备  设备成熟度高  设备产能大超过 6500wfr/hr  设备可集成拓邦科技版权所有 12 绍兴拓邦电子科技有限公司总结拓邦科技版权所有 13 PERC PERCSE PERCTOPCon 碱刻蚀效率增加 0.15以上成本降低 7分 /wfr 提效降本绿水青山，才是金山银山替代常规酸刻蚀工艺设备简单、良率高、产能大成熟绍兴拓邦电子科技有限公司拓邦核心技术拓邦科技版权所有 14 制绒扩散刻蚀镀膜印刷硅 /水界面控制硅片表面清洁 OH-Si反应控制 HNO3/HFSi反应控制 OH-SiO2反应控制 HFSiO2反应控制单晶制绒多晶制绒 NaOH/KOH抛光酸抛硝酸降量碱边缘刻蚀降本提效绍兴拓邦电子科技有限公司绍兴拓邦科技为您提供拓邦科技版权所有 15 单晶制绒 TB系列产品  高效率提高 PERC电池效率 0.1  高产能 6min\10min制绒时间碱刻蚀 BP系列产品  高性能提高电池效率 0.15  高环保无氮工艺， PERC电池无需硝酸硝酸降量 NP系列产品  高性能低硝酸用量、高反射率  高环保降低硝酸用量，降低含氮废水处理费用工艺服务整线工艺调试服务  保证电池效率提升  设备调试及改造绍兴拓邦电子科技有限公司感谢聆听联络人张震华电话 86-13658059121 Email zzhangtoponetech.com.cn 拓邦科技版权所有 16