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龙源期刊网 http//www.qikan.com.cn 晶硅薄膜的制备及其在太阳电池中的实际运用作者黄文浩来源科技创新与应用 2015 年第 17 期摘 要太阳能光伏发电是一种可以凭借太阳能转化为电能的过程来满足社会化需求,通过此种策略来科学化的利用能源,从而避免对现有的非可再生资源等物质的过渡消耗。文章就从晶硅薄膜的制备方式着手来阐释其中所存在的问题,并提出相应的可行性制备措施,同时,针对基于晶硅薄膜物质的太阳能电池的性能进行剖析,从而总结出科技发展对实际的太阳能电池制备项目的重要意义。关键词晶硅薄膜;制备;太阳电池;实际运用前言现阶段,我国太阳能市场当中,太阳能电池主要为体硅电池,尽管能够在一定程度上满足市场需求,但该类型电池的成本较高,其原因在于硅片价格较高。这样一来,便导致了太阳能电池的发电成本高居不下,仅就成本这一项,其与普通的电力发电策略便无力竞争。在这种情形之下,经研究分析可知,采用晶体硅薄膜物质来替代体硅材料,能够将太阳能发电成本拉低,这就为太阳能发电项目的推广应用提供了土壤。1 晶硅薄膜的制备1.1 晶硅薄膜制备的实施背景研究在全世界光伏市场上近九成的市场份额是由晶体硅电池所占据,其中,包括了单晶硅电池与多晶硅电池等等,硅基薄膜电池在其他市场份额中有主导地位。晶体硅电池效率很高,因为制备过程需要很高温度的工艺,因此生产成本限制了其发展。而非晶硅电池虽然成本低廉但是市场上销售的非晶硅电池效率只有 8,并且存在着光致衰退的效应也影响着电池的稳定性。在太阳能电池成本缩减要求的驱动下,国内光伏产业项目有着实质性的进步,而且,虽然 HIT太阳电池本身的成本降低了,但其效率较高、性能稳定,现在已经成为了国内外光伏领域研究的热点。1.2 分析晶硅薄膜的主要制备方法从总体情况来看,在项目研究中或是实践过程当中,较为常用的制备晶硅薄膜的方法有常压化学气相沉积(简称 APCVD 方法)、低压化学气相沉积( LPCVD 方法)、等离子体增强化学气相沉积( PECVD 方法)。其中, CVD 技术的主要特点表现在,其底部附着一层薄
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