硅片等级分类及标准-solarbe文库

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硅片等级分类及标准一、优等品 1硅片表面光滑洁净。 2TV 220±20μm。 3几何尺寸边长 125±0.5mm；对角 150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm；边长 103±0.5mm、对角 135±0.5mm；边长 150±0.5mm 、156±0.5mm、对角 203±0.5mm、200±0.5mm。同心度任意两个弧的弦长之差≤1mm。垂直度任意两边的夹角90°±0.3。二、合格品一级品 1表面有少许污渍、轻微线痕。 2220±20μm ≤TV≤220±30μm。 3几何尺寸边长 125±0.5mm；对角 150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm；边长 103±0.5mm、对角 135±0.5mm；边长 150±0.5mm 、156±0.5mm、对角 203±0.5mm、200±0.5mm。同心度任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。垂直度任意两边的夹角90°±0.5。二级品 1表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。 2 220±30μm ≤TV≤220±40μm。 3凹痕硅片表面凹痕之和≤30μm。 4崩边范围崩边口不是三角形状，崩边口长度≤1mm，深度≤0.5mm 5几何尺寸边长 125±0.52mm；对角 150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm；边长 103±0.52mm、对角 135±0.52mm；边长 150±0.52mm 、156±0.52mm、对角 203±0.52mm、200±0.52mm。同心度任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。垂直度任意两边的夹角90°±0.8。三级品 1表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。 2220±40μm ≤TV≤220±60μm。 3硅落整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。三、不合格品严重线痕、厚薄片TV＞220±60μm。崩边片有缺损但可以改 Φ103 的硅片。气孔片硅片中间有穿孔。外形片切方滚圆未能磨出的硅片。倒角片（同心度）任意两个弧的弦长之差1.5mm。菱形片（垂直度）任意两边的夹角90°±0.8。凹痕片硅片两面凹痕之和＞30μm。脏片硅片表面有严重污渍且发黄发黑。尺寸偏差片几何尺寸超过二级品的范围。注以上标准针对的硅片厚度为 220μ m。