【CITPV】量产型异质结产业化装备-PECVD&ampPVD-solarbe文库

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量产型异质结产业化装备2019Introduction of HJT production line北京捷造光电技术有限公司HJT-PECVD HJT-PVD 鲍刚2019.09 04 技术合作TECHNICAL COOPERATION03 HJT-250MW标准产线HJT-250MW STANDARD PRODUCTION LINE02 HJT-80MW中试验证线HJT-80MW PILOT LINE01 公司简介COMPANY PROFILE 目录CONTENT 章 COMPANY PROFILE第 1 公司简介公司简介北京捷造光电技术有限公司是由真空行业顶尖技术专家和优秀企业管理人共同组建，从事真空应用技术的开发与产业化推广，在PVD（磁控溅射、有机及金属共蒸发、离子镀、RPD反应离子沉积等）、CVD（PECVD、LPCVD等）和ALD原子层沉积等真空镀膜设备上拥有先进技术和高端装备制造经验，形成工艺研究设备、规模化产线设备系列化产品，广泛应用于光伏、半导体、显示、纳米科技、化工、制药等领域，并拥有GW级光伏电池产线核心技术和设备制造经验。 “ 致力于真空应用技术的高端装备研发和产业化推广。 ” 公司介绍COMPANY PROFILE 产线设备产品系列PRODUCT异质结太阳能电池产线透明导电薄膜产线硅基薄膜电池产线单体设备标准部件全自动单室PECVD系统多工艺cluster-PECVD研发平台ALD设备RPD设备OLED蒸镀设备磁控溅射镀膜设备旋转磁控溅射阴极高真空传输阀磁场扫描溅射阴极公司简介 2008年30MW非晶硅薄膜产线Ⅱ 2016年2013年 2018年 2019年2006年国内首台自主研发RPD设备全自动单室PECVD实验平台和250MW异质结标准产线国内首条5MW非晶硅薄膜产线国内首条微晶硅薄膜电池产线异质结PECVD中试线荣获SNEC兆瓦级翡翠奖大事记MEMORABILIA公司简介章 HJT-80MW PILOT LINE第 2 HJT-80MW中试验证线 HJT-80MW中试验证线厂内调试客户现场 JPE2000PRODUCT INTRODUCTION 载板规格8864p HJT-80MW中试验证线 JSP4000PRODUCT INTRODUCTION 载板规格10880p客户现场换靶材电池转换效率CELL CONVERSATION EFFICIENCY 11.1921.9922.1722.5122.7522.9723.1023.4723.7023.720.005.0010.0015.0020.0025.00 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10电池转换效率经过十次工艺调整，截止至 2018.12，电池转换效率已达 23.72。设备交付后一年，目前已经达到 24.41。 HJT-80MW中试验证线电池转换效率CELL CONVERSATION EFFICIENCYHJT-80MW中试验证线电池均匀性CELL UNIFORMITY基准 Eff均匀性 4.25 P面 I层 Eff均匀性 0.88基准工艺运行 -电池均匀性（大载板） HJT-80MW中试验证线电池重复性CELL REPEATABILITY基准平均效率波动在23.41± 0.1，设备稳定性较好。HJT-80MW中试验证线章 HJT-250MW STANDARD PRODUCTION LINE第 3 HJT-250MW标准产线 HJT250MWPRODUCTION LINE APPLICATIONHJT250MW产线布局示意图2条 PECVD1条PVD250MW， 4条产线含清洗和丝网，合计 1GW仅需 20000㎡ HJT-250MW标准产线 40m 40m JPE3000PRODUCT INTRODUCTIONJPE3000产线核心特征 JPE3000系列高产能的 Inline线列 PECVD系统– 节拍处理 100片 156标准电池片专为 HJT异质结工艺设计的核心反应室专利技术– 具有隔离的全铝热壁反应区结构，可以保证的非晶硅工艺稳定– 可调电极间距 10-55mm和快速匹配的外装 RF shower head– RPS清洗– 可靠和易于维护的线列式滚轮传输机构模块化设计，快速安装和调试– 可适应不同结构工厂布局和自动化配套结构便于维护和检查结构紧凑，包含自动化、控制、在线监控和电池载板操作 HJT-250MW标准产线 JPE3000PRODUCT INTRODUCTION 完成全部异质结电池工艺两面非晶硅薄膜快速稳定沉积高质量的非晶硅薄膜– 4个独立的 PECVD模块处理双面异质结工艺– 两套载板循环系统，快速生产避免交叉污染 – 恒温控制工艺环境，工艺重复稳定– 每个 PECVD模块具有独立特气控制系统– 快速 RF匹配技术JPE3000产线核心特征 JPE3000系列 HJT-250MW标准产线外置传动装置恒温上电极 JPE3000产线局部特征高效 RPS清洗效果全自动清洗后无污染，清洗后可快速进入生产工艺 JPE3000PRODUCT INTRODUCTIONHJT-250MW标准产线外置传动装置RPS清洗RF匹配器恒温上电极Showerhead组件模块配电箱水冷真空外腔JPE3000产线工艺腔室 JPE3000PRODUCT INTRODUCTIONHJT-250MW标准产线组号 Pressurembar Distancemm SiH4sccm H2sccm Plsetw RF电源匹配时间 s1 0.9 25 1200 0 1000 0.142 0.8 35 800 4000 400 0.123 1.2 35 0 4000 3000 0.184 1.2 35 0 4000 700 0.265 70 35 1200 0 400 0.246 70 25 1200 0 400 0.267 100 25 1200 0 400 0.268 80 25 1000 5000 400 0.109 80 35 1000 5000 400 0.1410 80 45 1000 5000 400 0.14 01.结构紧凑主机包含自动化系统占地仅为 23x18m02.线列式结构便于维护易于维护、检查 18m 23m JPE3000产线布局示意图 JPE3000PRODUCT INTRODUCTIONHJT-250MW标准产线项目参数规格 125MW硅片尺寸 156.75x156.75mm（ Ф 210mm）硅片装载数量 100p（ 10x10）节拍时间 120s产能 3000片 /小时PECVD反应模块 4套独立 PECVD反应模块沉积材料本征 a-Si、 n型 a-Si、 p型 a-Siuptime 90 清洗 RPS系统加热温度最高 250℃ JPE3000产线主要参数 JPE3000PRODUCT INTRODUCTIONHJT-250MW标准产线 JSP6000PRODUCT INTRODUCTION用于异质结电池双面 ITO溅射的生产线 JSP6000 Inline Sputtering System 配备大功率长寿命旋转阴极正反面在线溅射镀模块化结构配置和低成本解决方案经量产验证的 ITO沉积技术与 PECVD产线配套的产能配置，产能 6000wph，双面沉积 ITO各 100nmJSP6000产线核心特征 HJT-250MW标准产线 JSP6000PRODUCT INTRODUCTIONJSP6000产线局部特征外置式传输安全可靠便于维真空室内无复杂结构，可靠性高维护周期长磁流体密封 HJT-250MW标准产线 JSP6000PRODUCT INTRODUCTIONJSP6000产线局部特征旋转阴极更换方式正反面阴极均采用向上吊装吊装方式同一，阴极通用性好配置专用换靶工具 HJT-250MW标准产线 JSP6000PRODUCT INTRODUCTIONJSP6000产线旋转阴极l 磁流体真空旋转密封，长寿命低漏率l 长寿命的陶瓷旋转水密封装置，无需漏水维护l 异质结定制磁场设计，低电压轰击小l 靶材利用率大于 75 l 完善的传感器和控制系统 HJT-250MW标准产线 37.5m 7.5m JSP6000PRODUCT INTRODUCTIONJSP6000产线布局示意图01.结构紧凑主机占地仅为 37.5x7.5m02.线列式结构便于维护易于维护、检查 HJT-250MW标准产线项目参数产能 6000片 /小时uptime ＞ 90节拍 72sec阴极数量 /面 5set x2ITO沉积厚度正反面各 100nm膜厚均匀性（片内、片间、载板间） ± 4方阻＜ 50方阻均匀性（（片内、片间、载板间） ± 5温度控制均匀性 ± 10℃工艺气体 Ar、 O2、 H2 项目参数载板下回传系统具备载板材质钛合金硅片尺寸（ mm 156.75 156.75载板放片数 120p（ 12 10）极限真空能力（ Pa） 2*10-4JSP6000产线主要参数 JSP6000PRODUCT INTRODUCTIONHJT-250MW标准产线章 TECHNICAL COOPERATION第 4 技术合作研发设备RD EQUIPMENT技术合作PECVD PVDRPD 除了异质结电池产线研发、制造外，我们也与国内的一些院所（如南开、中科院等）深度合作，研发出一些异质结工艺的标准实验设备，从技术前沿端开始储备，更利于产线设备的优化升级。联系方式CONTACT INFORMATION鲍刚13910004714baogjiezaooe.com www.jiezaooe.com 技术合作